大尺寸β-fei2薄膜制备工艺的研究.pdfVIP

目 录 目 录 摘 要 I AbstractII 第一章 环境半导体β-FeSi 的研究背景及基本性质 1 2 1.1 研究背景1 1.1.1 什么是环境半导体材料 1 1.1.2 研究环境半导体材料的意义 1 1.1.3 β-FeSi 作为一种环境半导体光电子材料的研究意义2 2 1.1.4 制备均一大尺寸β-FeSi 薄膜的意义 2 2 1.2 半导体β-FeSi2 的基本性质 3 1.2.1 Fe-Si 化合物 3 1.2.2 β-FeSi 的晶体结构 4 2