MEMS微传感器在汽车中的应用.ppt

电容式 悬浮支架 加速度 固定支架 导电电极 衬底 质量块 )垂直敏感电容微加速度计结构 固定支点 加速度 悬浮支架 质量块 感应叉指 b) 水平敏感电容微加速度计结构 电容式加速度计的不同敏感电容 1) 平行板电容式微加速度计 “三明治”结构电容式微加速度计结构 硅 玻璃 玻璃 硅 硅 平行板结构电容式微加速度计虽然具有较高的灵敏度，但是其制作需要腐蚀、组装、键合等多种工艺，过程复杂，无法与硅平面工艺兼容，难以实现批量化、低成本生产。 2) 梳状电容式微加速度计 挠性梁 定齿 基底 位移 定齿 立柱 敏感质量 C1 C2 隧道电流式 隧道式微加速度计，通常有悬臂梁式、多梁支撑式和扭摆轴式等几种结构 悬臂梁 隧道针尖 悬臂梁式隧道效应微加速度计 检测质量电极 扭转铰链 检测质量 可变电极 挤压膜阻尼孔 氮化层悬臂梁 隧道针尖 Stanford大学的双悬臂梁式隧道效应加速度计 压电式微加速度计 压电式微加速度计具有测量范围宽、启动快、功耗低、直流供电、抗冲击振动、可靠性高等显著优点，在惯性导航系统中有着广泛的应用。 敏感轴方向 压电晶体 壳体 敏感质量 压电式微加速度计原理示意图 m 输出 源极 传感电容 比较电容 悬臂梁 氧化锌 FET 放大器 Vdd 压电式微加速度计的结构 焊盘 根切 P阱电阻 微传感器的实例(2)——光学 光学传感器的原理 电子吸收光子，从而向高能级跃迁。能级跃迁的类型： 1）物体从价带向导带跃迁——光伏效应 2）物体从导带向价带跃迁——光电效应 3）向稳定能级的跃迁——双折射，克耳与光电效应 4）跃迁到中间能级态和返回到基态 5）其它类似激子的结构（电子和空穴形成了具有一系 列显著能级、类似氢的分子）。 当入射光光子的能量大于被照射材料的逸出功时，就有光电子发射，称为外光电效应。 利用这种效应制成的传感器有真空光电管、光电倍增管等。 当物体受光照射后，其内部原子释放出电子，但这些电子并不逸出物体表面仍留在内部，使物体的电阻率发生变化或产生光电动势的现象称为内光电导效应。前者称为光电导效应，后者称为伏打效应。 利用半导体光电导效应可制成光敏电阻 其基本原理是辐射时半导体材料中的电荷载流子（包括电子和空穴）的增殖使其电阻率发生变化。 光中的光子和固体中吸收光的电子的相互作用原理在量子物理学中已经比较完善。 微光学传感器已经可以测量出光的强度。具有强光电效应的固态材料可用作这种传感材料。 如图所示，当透光性较强的半导体基体A接受光子能量后，两光敏电阻的连接处可产生电势。产生的电势可以通过电桥电路中电阻的改变测量出来。 一种特殊的材料，当有光照时其自身电阻会发生变化。 图中的光电二极管由p型和n型掺杂的半导体层组成 图中的光电子管由p－、n－和p－掺杂层组成。入射的光子能量可以被转换成从这些器件中输出的电流。 在此不详述。 微传感器的实例(3)——热学 微传感器的实例(4)——电磁 微传感器的实例(5)——生物医学 微传感器的实例(6)——化学 谢谢大家！ 微传感器研1202班李竹芳 微传感器的概念 微传感器的分类 基本敏感原理介绍 微传感器的实例 主要内容 微传感器的概念 微传感器：基于MEMS工艺的，能把被测物理量转换为电信号输出的器件，通常由敏感元件和传输元件组成。 MEMS微传感器原理框图 微传感器是今天最广泛使用的MEMS器件，通常使用集成电路工业中发展起来的手段和技术来制造，比如微金属版印制技术、刻蚀技术等，也采用专门为微传感器制造开发的新技术。 微传感器的概念 微传感器的概念 微传感器的技术指标： 量程：测量范围上限值和下限值的代数差。 灵敏度：传感器的在稳态下输出变化对输入变化的比值 线性度：传感器输出与输入之间的线性程度。 分辨率：指在规定测量范围内可能检测出的被测量的最 小变化量。 重复性：传感器在输入量按同一方向作全量程多次测试 时所得特性曲线不一致程度。 频响范围：在规定误差条件下，传感器可以正常工作 的频率区间。 附例： 一个微加速度传感器的指标 灵敏度：100mV/g 量程：50g 频率范围：0.5-8000Hz（±10%) 安装谐振点:30kHz 分辨率：0.0002g 抗冲击：2000g 重量：8mg 安装螺纹：M5 mm 线性：≤1% 横向灵敏度：≤5% 典型值：≤3% 输出阻抗：＜150Ω 激励电压：18-30VD