无生产线模式r-mems器件与电路的设计与研究.pdfVIP

蔫要 摘要 未来的射频通信系统要求应用更加灵活、功能更加强大，同时又要求体积更小和功耗更低。微机电系 统(MeMS)技术由于能制作出极小尺寸的器件并能够完全集成到现代通信系统的射频前端，被认为是实 现E述功能最有前途的制造工艺技术。无生产线(Fabless)模式指的是芯片设计单位和工艺制造单位 的分工，即芯片设计单位可以不拥有生产线而存在和发展，而芯片制造单位则致力于工艺实现(代 客户加工，简称代工)。无生产线模式已经在集成电路设计制造领域广泛采用，然而在MEMS领域， 大多数从事MEMS研究与开发的高校和研究所。是采用独立的方式来制作微结构，对一些没有相关 资源设备或工艺经验的研究机构和中小企业来说，涉足微机电领域将是个很高的门槛。因此在MEMS 领域提出无生产线模式具有实际的意义。为了验证无生产线模式下设计制造MEMS器件的可行性， 本文利用国外标准的MEMS生产工艺设计制作了一系列基本的RF．MEMS器件，从而实践了 RF．MEMS器件的无生产线设计与研究的道路。 论文第二章首先简要地介绍了无生产线模式，然后简单介绍了正在使用的标准工艺线的情况， 重点介绍论文所采用的MEMSCAP公司的