一种与红外控温互补的温度控制系统.pdfVIP

第14卷第4期 江南大学学报(自然科学版) V01．14No．4 2015年8月 Journalof Science Aug．2015 JiangnanUniversity(NaturalEdition) 一种与红外控温互补的温度控制系统 刘棋奇， 倪屹+， 刘银法， 万海松 (江南大学物联网S-程学院，江苏无锡214122) 摘 要：针对人工晶体生长温度控制系统，提出一种基于直流可编程电子负载控制加热功率的方 法控制温度，补充现有温度控制方法在晶体生长低温段(0～800℃)的缺陷。根据多次应用在蓝宝 900 石晶体生长实验的结果，系统在实验中控制的升温段和降温段(室温至1 oC)温度与功率曲线 均稳定，与红外控温方式在晶体生长工艺中形成良好的互补。该方法具有良好的便捷性、稳定性和 较低廉的成本。 关键词：晶体生