微纳半导体生化感器的研究.pdf

摘要 摘要 生化传感器是指能够响应生物化学量，并按照一定规律将其转换为可测量 的物理信号的器件或装置。 随着对生物技术、生命科学以及环境检测等与人类健康相关领域的重视， 人们对生化传感器的需求也越来越多，各种生化传感器的研究成为了近期传感 器研究的热点。 目前生化传感器的发展趋势主要集中在全固态化、微型化、集成化、多功 能化、智能化以及高灵敏度、高选择性和高稳定性等方面。 S锄iconductorFieldE毹cc Transistor)型传感器具有微型化、集成化、全固态等 优势；纳米材料具有尺寸效应和量子效应以及特殊的光、电、热、磁等性能， 为新型生化传感器的研制提供了新的结构、原理和方法，为提高生化传感器的 性能提供了新的研究方向。 本文结合半导体场效应(ISFET型转换器)和纳米材料的优势，研究并设计 了两种用于液体中生化量检测的微纳半导体生化传感器： l、利用p型半导体氧化物NiO在室温下对C02的敏感特性，基于碳糊成膜 的方法，将Pt．NiO混合敏感膜固定在ISFET转换器的表面，首次研制成lSFET 型全固态溶解C02传感器。