四探针智能测试的研发.pdfVIP

摘 要 随着电子科学技术的发展，对半导体材料各种性能参数的要求越来越高，其中，电阻率 是半导体材料的主要性能参数之一。目前，四探针测试仪是测量半导体材料电阻率的一种重 要仪器。传统四探针测试仪需要手动寻找测量点，测量周期较长、精度和效率较低，已无法 适应时代发展，而市场上自动化程度较高的测试仪器价格一般比较昂贵。因此开发一台智能 化且价格低廉的测试仪有着迫切的需要。 本论文分析了国内外半导体材料测试仪的发展和现状，在传统ST-103A 型手动四探针测 试仪的基础上，结合 PC 机、单片机控制技术、视频采集技术等，研制出数字化智能四探针 测试仪。该仪器可以对半导体材料电阻率进行自动测量，操作简便，工作效率高，且成本低 廉，具有一定的研发价值和较好的市场应用前景。 本文主要研究内容包括探针台机械改进，视频采集系统，下位机控制模块，上位机界面 设计四大部分。其中，机械改进部分是在ST-103A 型手动探针台基础上，设计了步进电机与 丝杆导轨和滚珠导轨的机械连接件，用步进电机代替控制手轮，实现测试台的自动控制，且 控制精度较高。视频采集系统采用CCD 摄像头和SDK-2000 视频卡实现了对测量过程的实时 监视，能准确监测测量点和探针的位置。下位机控制模块以多I/O