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- 2015-12-24 发布于河南
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《美国TELEMARK公司 电子枪及控制电源》.doc
美国TELEMARK公司 电子枪及控制电源
旋转型多坩埚电子枪
l???????? 埚体易拆卸,便于坩埚的清洗和更换
l???????? 270度电子束偏转(暗藏灯丝)
l???????? 专利型水冷却设计可大大的延长坩埚的使用寿命,提高膜料蒸发均匀性
l???????? 设计结构可靠
l???????? 易于使用和维修的优化设计
l???????? 采用永久磁铁,初始电子束定位容易,改善蒸发工艺的控制
l???????? 精密设计的枪头组件,可增加灯丝的使用寿命
l???????? 插入式枪头组件便于灯丝更换
l???????? 侧部或底部坩埚旋转驱动
l???????? 247/266/277型电子枪上使用的旋转式馈入装置,对水和真空的密封性高
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改进型永久磁铁减少扎坑现象该新型电子枪是在传统电子枪的基础上通过改变对磁场的设计加工而成,它可以使电子束以垂直角度入射蒸镀膜料,及增加熔炼膜料的使用面积,并使膜料的熔炼更均匀形成蒸发,该电子枪上可选配无弧装置或自密封式盖板。
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294型“垂直入射”电子枪该新型10千瓦电子枪可携带6个40CC的坩埚或一个475CC的槽形坩埚,其永久磁铁技术改型,以及无弧装置使该型号的电子枪成为光学镀膜工艺的最佳选择,如果在该枪上匹配自密封式盖板,那么该电子枪又可用于联合蒸镀工艺(金或其他膜料在坩埚中交替使用)。
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电弧抑制技术
带有无
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