二电子显微分析.ppt

第二章 电子显微分析 Electron Micro-Analysis 研究对象 微结构与显微成分 微结构与性能的关系 微结构形成的条件与过程机理 材料的性能由微结构所决定，人们可通过控制材料的微结构，使其形成预定的结构， 从而具有所希望的性能。 电子显微分析是利用聚焦电子束与式样物质相互作用产生各种物理信号，分析式样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 方法： 1、透射电镜（TEM） 2、扫描电镜（SEM） 3、电子探针（EMPA） 光学显微镜 优点： 简单，直观。 局限性：分辨本领低（0.2微米）；只能观察表面形貌；不能做微区成分分析。 化学分析 优点： 简单， 方便。 局限性：只能给出试样的平均成分，不能给出所含元素随位置的分布；不能观察象 。 X射线衍射: 优点：精度高；分析样品的最小区域mm数量级； 局限性：平均效应；无法把形貌观察与晶体结构分析结合起来 。 第一节 电子光学基础 一、光学显微镜的分辨率 雷列—阿贝公式： r=0.61λ/nsinα 式中：r——分辨本领 λ——照明源的波长（nm） n——透镜上下方介质的折射率 α——透镜孔径半角（度） nsinα——数值孔径，用N·A表示 由上式可知，减小r值的途径有： 1、增加介质的折射率； 2、增大物镜孔径半角； 3、采用短波长的照明源。 二、电子波的波长 德布罗意的波粒二象性关系式 ： E=hμ, P=h/λ 可得 λ=h/P=h/mv 带入数值可得 电子波长为λ=12.25/V? （?） 三、电子透镜 在电子显微分析中使电子束发生偏转、聚焦的装置。 按工作原理分： （1）静电透镜：一定形状的等电位曲面簇也可使电子束聚焦成像。产生这种旋转对称等电位曲面簇的电极装置即为静电透镜。 （2）电磁透镜：旋转对称的电磁场使电子束聚焦。产生这种旋转对称磁场的线圈装置叫电磁透镜。 （3）TEM、SEM：多个电磁透镜的组合。 电磁透镜是一种可变焦距或可变倍率的会聚透镜。 四、影响透镜分辨率的因素： 1、球差 球差是由于电磁透镜磁场的近轴区和远轴区对电子束的会聚能力不同而造成的。 透镜球差图 3、轴上像散 轴上像散又可简称为像散，它是由于透镜磁场不是理想的旋转对称磁场而引起的像差。 透镜像散图 4、畸变 球差还会影响图象畸变。 1）若存在正球差，产生枕形畸变b； 2）若有负球差，将产生桶形畸变c。 3）由于磁透镜存在磁转角，势必伴随产生旋转畸变d。 五、电磁透镜的场深和焦深 1、电磁透镜的特点： 分辨本领大、场深大、焦深长。 2、场深（景深） 透镜的景深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离。换言之，在景深范围内，样品位置的变化并不影响物像的清晰度。 第二节 电子与固体物质的相互作用 电子束与物质相互作用，可以产生背散射电子、二次电子、吸收电子、俄歇电子、透射电子、白色X射线、特征X射线、X荧光。 电子束与物质相互作用图 1、背散射电子（back scattering electrons, BE） 电子射入试样后，受到原子的弹性和非弹性散射，有一部分电子的总散射角大于90°，重新从式样表面逸出，称为背散射电子。 特点： 1）能量高，大于50ev； 2）分辨率较低； 3）产生与Z有关，与形貌有关。 2、二次电子（secondary electrons, SE） 入射电子在试样内产生二次电子,所产生的二次电子还有足够的能量继续产生二次电子，如此继续下去，直到最后二次电子的能量很低，不足以维持此过程为止。 特点： 1）能量低，为2-3ev。 2）仅在试样表面10nm层内产生。 3）对试样表面状态敏感，显示表面微区的形貌有效。 4）分辨率很高，是扫描电镜的主要成像手段。 5）与形貌密切相关，图象的景深大、立体感强，常用于观察形貌。 3、吸收电子（absorption electrons, AE）