宽禁带半导体氧化锌晶体离子注入光学效应研究.pdf

目 录 中文摘要……………………………………………………I ABSTRACT…．．．．……．．．…．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．…．．．．．．．．．．…．．．、f 符号说明……………………………………………………X 第一章绪论………………………………………………．．1 第二章理论基础介绍…………………………………………14 2．1平面光波导理论………………………………………15 2．2稀土原子的发光原理…………………………………．．20 2．3离子注入模拟………………………………………．．22 2．4折射率拟合方法………………………………………23 2．5光束传播方法………………………………………．．24 第三章实验分析方法…………………………………………26 3．1离子注入技术………………………………………．．27 3．2卢瑟福背散射／沟道分析技术……………………………．30 3．3棱镜耦合技术………………………………………．．33 3．4端面耦合技术………………………………………．．36 第四章离子注入氧化锌晶体的光波导特性研究……………………．．38 4．1氧离子注入氧化锌形