纳米测量系统的设计和研究.pdf

最佳工作时间段，界定了波长漂移的灵敏区域和不灵敏区域；结合误差理论的处 理方法对环境噪声干扰源进行了分析，并针对具体干扰源对测量系统所造成的影 响进行了转换处理，最后根据被测元件的精度要求完成了误差分配，给出了具体 参数。 (3)对测量系统中涉及到的光路和电路进行了综合及分系统测试，其中主 要包括：对通过法珀(卜P)干涉腔的测量光路调试；参考光路的调试；上位机 进行光路调节的控制；usBlIl通讯功能的调试等。 (4)采用该方案所设计的测量系统，在实验室内完成了对镀膜、未镀膜、 楔形未镀膜三种具有代表性的玻璃片样品的亚纳米级精度测量，最后用光谱仪对 该样品厚度误差进行了定标论证，完全达到设计精度要求。 课题研制的光学测量系统能够实现对平板玻璃片的现场化亚纳米测量，对 于生产新型超窄带滤波器具有切实的工程实用价值。 关键词：纳米测量；平板玻璃测量；F—P干涉仪；超窄带滤波器 ofaNewNanometer andIkseaI．ch Optical Design Measunment System TestMeasure andInstmInent Disdpline： Tecllllology stuaen吨胁m：争渗稍～ sup。n，；。。r sjg曲ture：』藩．iy tothe of alld theory According oftlle cavity spectroallalysistecllllology，ch00singflat罾ass(si02)嬲inte断ometric measurement sensorstodete(Athe ofthe system，using li曲tillte璐itysi印als dual．be锄whichacross筋mthc of themethod0f gct cavityinterfemmeter，ad叩ting two interfercdnewl【iⅡdof themaxim啪between measufing nearby 1igIlts，a me髂urememwas high—accuracysubnanometer(10111n)filmoptical systemdesigned me船urementw觞lcssthanor 13．37砌whichwas aIldrcalized．11le errOr equaltO pIDvedbySpecnⅥmAnalyzeL The ofthe measmementwith of optical ability accuracy system stIong anti—reflectiVefilIIls蛐dlow—costreachessubnanometerever canbe lcvel，whichjust do