引线框架用CuCrZrMg合金的加工工艺和性能的研究.pdfVIP

摘 要 引线框架材料在集成电路中起着固定芯片，保护内部元件，传递电信号并向外部散发 热量的作用，是基础电路的关键部件，而作为引线框架材料用 Cu-Cr-Zr 合金，由于其能通 过合理的形变热处理工艺改善组织、性能而获得高强高导性能，从而成为最具发展潜力的 高性能铜合金材料。 如何在非真空环境下熔铸获得质量良好的合金一直是业内研究的难点，本文主要探讨 在大气环境中通过合理的熔铸工艺获得良好的铸态 Cu-Cr-Zr 组织，分析热轧时铸锭加热温 度分别为 850℃、900℃及热轧变形量 70%～80%对热轧后的组织性能影响，设计单因素实验， 分析了一次、二次时效前后冷变形量对时效后性能的影响。通过七因素三水平正交实验， 考察各因素对 Cu-Cr-Zr 合金的组织、性能的影响，并确定其影响因子的主次关系，优化实 验参数得出最佳加工工艺。研究结论如下： （1）在大气环境下熔铸 Cu-0.45Cr-0.15Zr-0.05Mg 合金，熔炼温度 1250℃，保温时 间 15～20 min,浇铸温度 1150～1200℃，浇铸出来的铸锭质量较好。 （2）热轧铸锭加热温度为 900℃×1h，热轧总加工率为 70%对材料力学性能较好，组 织中有少量第二相呈点或短条状，并沿晶界分布。 （3）实验表明一、二次时效前冷变形均能不同程度地促进时效，冷变形量越大，第二 相析出速度越快。时效后冷变形对降低电导率的影响较小，对提高抗拉强度的影响较大。 （4）通过正交实验的数据分析，影响电导率的主要因素是一次时效温度，其次是二次 时效时间和一次时效时间，影响抗拉强度的主要因素是二次时效时间，其次是一次时效时 间和二次冷轧加工率。通过综合分析得出最佳工艺方案：热轧 75%+固溶 950℃×60min+一 次冷轧 70%+一次时效 600 ℃×1.5h+二次冷轧 50%+二次时效 520 ℃×4h。 关键词：引线框架材料；Cu-Cr-Zr-Mg 合金；二级冷变形时效；正交实验 I Abstract Lead frame materials play a very important role in IC.They can support chip, protect inside component, transmit the electric signal, and send out the heat of the componet outwards, it is a key part of base IC. Making Cu-Cr-Zr alloys for Lead frame materials, because it can improve structure and properties through reasonable cold-working and heat treatment to get high strength and high conductivity properties, so that become most potencial high properties copper alloy materials. How to get copper alloy of good quality is always a difficulty in our field in unvacuum environment.The main idea in this thesis is to get good Cu-Cr-Zr alloy casted by reasonable melting and casting technique in atmosphere,analyse influence of temperature of hot-rolling 850℃,900℃ and the degree of hot deformation 70%～80% for constructure and properties after hot rolli