Ag%2fITO%2fg多层薄膜制备、微结构及光电性质表征.pdfVIP

l JI ·—--—___-_—--—-··—__-I-—_—_—_—__——·_-_———_——-—-—__———————__—__—_——_——-——-—-_——-___———-_—o一一-■UJ-7●-7■ 7U[5I 1IIEl蝌[1lrl 摘 要 利用高反射、高电导的金属Ag和透明导电ITO多层复合制各透反射式高 电导Ag／ITO／Ag多层薄膜，将该多层薄膜用作透反射式液晶显示器的下电极材 料，可以提高透反射式液晶显示器的性能，所以对Ag／ITO／Ag多层薄膜体系开 展研究具有重要的理论意义和实用价值。 本文制备了一系列透反射式高电导Ag／ITO／Ag多层复合薄膜，Ag／ITO／Ag 多层复合薄膜由表层Ag膜、夹层ITO膜和底层Ag膜构成，重点研究了不同表 层Ag膜厚度对多层薄膜的微结构、表面形貌和光电特性的影响。采用效能因 子和分光比对Ag／ITO／Ag多层复合薄膜综合品质因素进行了评价。 本文主要创新