生产单晶硅制备及其应用工艺技术.docVIP

01805741.1??? 单晶硅晶片及单晶硅的制造方法 2??6??? 绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法 3??0??? 分离单晶硅埚底料中石英的工艺 4??3??? 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法 5??0??? 直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法 6??6??? 抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置 7???? 掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法 8??9??? 单晶硅的制造方法和设备 9??4??? 一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构 10??9??? 单晶硅生产装置 11??9??? 制造单晶硅的设备 12??4??? 单晶硅直径测定法及其设备 13??2??? 单晶硅直径控制法及其设备 14??9??? 单晶硅生产设备 15??0??? 单晶硅生产设备 16??4??? 单晶硅生产设备 17??7??? 制造单晶硅的装置 18??7??? 单晶硅上