纳米三坐标测量机机械结构及接触式测头技术的研究.pdf

摘要 超精密加工技术的高速发展，引发器件微型化革命，对相应三维检测设备的测量精度提 出更高要求，三坐标测量机为传统通用性高精度测量仪器，发展尺寸小型化、精度纳米级， 是微小型三坐标测量机研究中的关键技术。本文根据作者近年所参与的课题，针对小型三坐 标测量机主体机台、精密二维定位工作平台、接触式测头系统等重要组成系统加以设计与 研究，以确实掌握从设计、制造到测试各阶段的自主性关键技术。 提出新型的拱形桥架结构取代传统直梁式桥架，结构具有高度的对称性，刚性好，具有 更好的稳定性，桥架中心载重变形仅为传统结构的1／：3；动态谐响应下，位移幅值变化小，在 测量过程中具有高可靠性。基于优化设计理论，进一步提出塔形桥架结构，具有更好的空间 立体对称性，为微纳米测量提供良好的测量参考面。针对精密二维定位平台的研究提出共平 面概念，使得运动导轨面、一维光栅测量面和被测件所在平台面在同一高度，减小Z向阿贝 误差和累积误差，兼顾对称设计和低膨胀系数材料的选择，减小载物平台的力变形、热变形。 整合高分辨率一维激光衍射光栅测量系统和纳米电机驱动系统，二维平台可实现25mm×25mrn 的行程，定位重复精度优于30nm，驱动分辨率可达lnm。 实现真正三维形貌测量有赖于接触式测头技术的发展，本论文研究中提出一种结合光学 测量方法和机械传动与接触为一体的测头机构。测头系统包括光学传感器、位移传动机械悬 架机构和测杆测球。基于DVD激光读取头，根据其光学聚焦原理开发非接触式聚焦探头系统， 用以构成接触式测头系统中的位移传感器，测量范围为21am，分辨率可以达到0．8nm／mV；通 过理论计算与软件仿真提出新型悬挂机构，将测球的水平位移转为垂直位移，由DVD感测。 四路DVD的应用放大信号改变量、有效消除信号噪声与漂移；测杆测球的研究提出以光纤为 材料研制一体化测球的加工手段，基于熔接机电极尖端火花放电原理使玻璃光纤末端短时间 熔化，由于表面张力而收缩的物理现象，使光纤末端自然形成微小圆球。采用“田口”科学 实验计划法优化光纤熔烧过程的参数，进而控制光纤球的几何形状特性，得到直径3109m， 真球度和偏心距离小于lgm的光纤球头，并且封装后用于接触式测头系统。此接触触发式测 头系统通过实验证明：单方向测量重复精度小于10nm，XOY平面内预行程改变量小于15rim， 的尺度测量。 本文已经研究开发的上述机械结构与测头系统已分别应用于“非接触式纳米三坐标测量 机”和“接触式纳米三坐标测量机”中，是纳米级三坐标测量机研究中的重要组成部分。 关键词：微纳米测量；纳米三坐标测量机；共平面二维工作台：有限元；DVD激光读取头； 光纤测球；田口法；接触触发式测头系统 ABSTRACT Withthe of machineswith development ultra-precisionmachiningtechnology,3Dmeasuring tomeetthe Machines resolution眦neededminiature high components．CoordinateMeasuring sizeand small micro／nanometerresolutionare via the (CMMs)丽m developedbreakingthrough onthe Oll bottleneck．Based of micro／nano authorfocusedthe projects CMM，the developing researchofmechani