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- 2016-01-12 发布于安徽
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摘要
本文系统地分析了近场特性及近场理论的研究方法。根据电
磁场的基本原理,导出Ewald.Oseen消光定理,并结合傅立叶角
谱理论系统地导出适合于起伏样品表面近场计算的一级微扰近似
公式,通过结合消假象理论使微扰理论的应用得到进一步的完善。
本文通过计算一个周期性样品一介质矩形光栅的PSTM等强
度和等高度扫描分布,进一步说明了由微扰加角谱理论发展起来
的一级微扰近似公式作为获取二层界面非平面表面样品的凸凹结
构信息公式是有效的。而结合了双光束消假象理论后,除去了由
凸凹不平的微扰产生的动量局域偏移,减小了由表面倾角引起的
假象,使一级微扰近似公式更加完善。
数值模拟表明,PSTM等强度和等高度扫描方式下利用消假
象理论是非常有效的,有助于得到较理想的样品形貌和强度形貌
图象。
关键词
近场
傅立叶角谱
一级微扰近似
消假象
and
the onnear-field
T11iS
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