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超出管控控制---氧化 一、人员异常 二、设备 三、辅料 一、人员操作 超出管控控制---拉晶周期长 原因分析1 原因分析2 解决措施1 解决措施2 解决措施3 原因分析1 1.原料因素： 原料杂质过多或表面处理时有残留物，易生成多个晶核，造成 引晶无棱或多棱，放肩等径多次断棱，长晶周期长 2.辅料因素： a.石英坩埚纯度不达标或内表面涂层不均匀，杂质进入硅液，污染原料，长晶困难 b.加热器/碳毡老化/石墨件变形/，造成硅液各温区分布不合理，长晶界面不稳定，多次断棱，周期长 3. 操作因素： a.熔料或断棱回熔功率过高，硅液与石英坩埚反应剧烈，石英坩埚内含杂质进入硅液，硅液杂质浓度增大，长晶困难 原因分析2 b.安装不对中/稳定温时间过短/引晶质量不高/放肩温控不合理/长晶埚位不合理/拉速SP过大等违规操作，造成多次断棱周期长. 4.工艺卫生： 清炉时炉膛内壁，石墨件及重锤夹具表面有残留物，长晶时掉落，吃渣断棱，长晶周期长 5.设备因素： 漏水/漏气/管道不畅通/真空泵抽速不达标/等真空系统故障，造成氧化和挥发物带不走，吃渣断棱，周期长 解决措施1 解决措施2 解决措施3 超出管控控制---晶棒变形 晶棒变形的原因 操作导致晶棒变形 设备导致晶棒变形 工艺影响晶棒变形 辅料影响晶棒变形 晶棒变形的原因 操作：由于人员操作失误导致晶棒变形 设备：由于设备损坏异常工作导致晶棒变形 工艺：工艺参数偏离正常的生长曲线导致晶棒变形 辅料：由于辅料不合格或老化导致晶棒变形 操作导致晶棒变形 放肩温度控制：操作工对温度的控制不稳，导致放肩时温度过低，放肩成方形，转肩后没有及时调整温度； 标准：所放肩和水平夹角成30度，所放时间控制在2-2.5H（6寸单晶）和2.5-3（6.5寸单晶） 直径观察窗玻璃：观察窗玻璃污垢较多，没有及时清理导致信号差，导致直径失控，没有及时退自动调整； 标准：大清炉台时清理直径观察窗玻璃/玻璃清洗、无污垢 设备导致晶棒变形 热电锥连线：热电锥的连线接触不良，导致欧路值波动较大，导致温度异常晶棒变形。 标准：开炉前对热电锥的连线进行点检前/连线紧密结合没有裸漏的导线 阻尼套：阻尼套老化、磨损钢丝绳；标准：阻尼套的孔为光滑的圆形孔 埚随比：埚随控制器坏，埚随比异常 标准：点检和校正埚随比/给定埚随同时打开晶慢生和埚慢生，不同拉速的晶生和埚生比值一制 工艺影响晶棒变形 参数不匹配：使用匹配的工艺参数，必须有技师审核后的工艺参数 标准：使用匹配的工艺参数，必须有技师审核后的 辅料影响晶棒变形 热场：老化失、变形，老化失去保温效果，无法形成正常的温度梯度 标准：碳毡粉化一碰即掉落的，石墨件变形无法正常和其它石墨件吻合。 超出管控控制---坩埚变形 影响坩埚变形的因素 操作-装料 操作-埚位 操作-功率 设备影响坩埚变形 原料影响坩埚变形 辅料影响坩埚变形-坩埚 辅料影响坩埚变形-加热器 影响坩埚变形的因素 1）操作 2）设备 3）原料 4）辅料 操作-装料 装料：装料搭配不当，上部挤压力过大；要求原料按小料、大料、中料的顺序来装料，小料（小于20mm块状硅料和碎片）中料（直径在20-80mm之间块状硅料）大料（直径大于80mm块状硅料） 原因：1.急于装炉，没有合理安装原料；2.装料工艺未能掌握 操作-埚位 埚位：没有降到熔料埚位；合炉前检查埚位是否降到最低埚位（加强炉台的点检） 原因：熔料未降到最低埚位，等同于高温熔料区下降，底部硅料熔化，上部形成搭桥现象。 操作-功率 功率：未按正常的工艺要求进行熔料;升功率：低温功率（电压、电流的乘积）50kw，半小时后升至中温70kw，再半小时后升至高温90kw 原因:功率过低虽能熔料，但时间过长坩埚软化时间增加，坩埚变形；但也不易功率过大，功率过大坩埚和硅料反应增加不利于成晶。 设备影响坩埚变形 过流点过低，功率无法升到熔料功率；调高过流点 电压、电流表显示不准确，实际电压、电流没有升到显示值；校正电压、电流表 无法升到正常熔料的功率 原料影响坩埚变形 原料搭配不当，整炉大料或整炉小料，增加装料的难度，使硅料挤压过紧，产生较大的挤压力，坩埚高温软化后挤压力释放坩埚变形。 标准：要求原料按小料10-20%，中料15-25%，大料55-75% 辅料影响坩埚变形-坩埚 坩埚质量不合格，要求：坩埚不允许有崩痕、裂纹、划伤、凹坑，杂质点（黑点、灰色、乳白色）直径大于3mm的不允许使用，直径1.5-3mm的少于4个或直径0.5-1.5mm少于30个，气泡大于2.5mm的不允许使用，直径在0.5-2.5mm的小于8个，开口气泡不允许使