生物芯片微流体泵液固耦合系统流动特性的研究.pdf

摘 要 微泵（微致动器）是微机电系统（MEMS ）流体驱动最关键的元器件之一, 它在 许多领域有着广泛的应用。微泵是一个复杂的多物理因素耦合系统，它不是传统泵 的微型化。由于工作环境、工作介质的差异，微泵不具备通用性，需针对具体的应 用进行分析设计。当前还没发现微泵完整的多物理因素耦合研究的成熟报道。本文 旨在提出一种有效的数学模型对微泵进行数值分析，以指导微泵的优化设计。 本文针对平面无阀压电微泵的结构、运动特点，采用浅水波模型模拟微泵流体 运动，以无限大平板间的周期流动( 即振动 Poiseuille 流动)近似微泵厚度方向的速度 分布，对 Navier-Stokes 方程在泵腔厚度方向作积分平均处理，得到了描述微泵粘性 流体周期流动的二维非线性浅水波方程，和流体压强的泊松方程。利用 Galerkin 有 限元方法，在压电硅片小振幅振动条件下，忽略非线性项，得到微泵流体压强有限 元矩阵方程。通过微泵压电硅片振动方程与流体压强方程的耦合，得到描述微泵周 期振动行为的液- 固耦合振动方程。 本文对微泵液- 固耦合系统进行模态分析得到微泵自然频率以及压电硅片振动响 应。通过微泵流场计算得到微泵流量、流体压强、速度场分布特征。论文还系统研 究了微泵厚度、压电片半径、微扩散管长度、小端面宽度、张角等微泵结构参数对 微泵系统的自然频率、压电硅片振幅、微泵流量影响的定量关系。 模态分析的结果表明，由于流体和压电硅片的相互作用，微泵液- 固耦合系统自 然频率比非耦合系统大大降低，尤其是第一阶自然频率降低最为显著。流动分析的 结果表明，在微泵耦合系统的第一阶自然频率附近，微泵流量达到最大值，达到流 量最大值的外载荷频率稍微高于微泵自然频率。泵腔流动随时间变化的特性，类似 于在泵腔内点源（排流半周期）或点汇（吸流半周期）交替产生的流动。在吸流过 程与排流过程的过渡时刻，泵腔内出现涡流现象。微泵流体压强呈周期性变化，压 强变化与瞬时流量变化不同步。液体压强在泵腔中心处分布比较均匀，在泵腔与微 扩散管交接的进出口处，流体压强变化剧烈。 本文的研究还表明，微泵耦合系统自然频率随微泵厚度的减小而减小。在微泵 厚度很小的情况下，流体粘性阻尼成为影响微泵自然频率的主要因素。微泵自然频 I 率还随压电片半径、扩散管小端面宽度增加而增大，随扩散管长度增加而下降。在 微扩散管张角 5 度到20 度的范围内，微泵自然频率随张角的增大而增加。扩散管张 角在 15 度左右微泵流量达到最大值。计算结果还表明，存在一个合适的扩散管小端 面宽度和压电片半径与硅片半径比值，使微泵流量可能达到最大值。 关键词：微流体泵，扩散管，浅水波，液- 固耦合，有限元 II ABSTRACT Micropump (or microactuator), one of the most important fluid-driving elements in Micro-Electronic-Mechanical System, has extensive applications in many fields. Micropump is not miniaturization of macropump, but a complex micro-system involving many coupling physical factors including liquid, solid and piezoelectricity. Dynamic coupling study of multi-physical factors of micropump has not been well established. Micropump a