线性源共蒸发铜镓硒薄膜低成本控制系统设计.pdfVIP

摘要 摘要 太阳能发电是当前绿色新能源的重要组成部分，铜铟镓硒化合物太阳能电 池以其转换效率高、长期稳定性好、抗辐射能力强等优点成为光伏界的研究热 点。在实验室成果向市场转化的过程中，实验室中分散工艺、手工制备的小面 积组件与生产中连续工艺、自动控制的大面积组件其技术要求相差甚远。国外 在共蒸发薄膜制备中，通过精确控制蒸发源蒸发速率实现了大面积组件的批量 生产。但采用蒸发速率实时测控技术，使得整个系统成本提高，控制复杂。因 此，设计研究低成本的共蒸发控制系统，实现高质量大面积组件生产，是太阳 能电池行业一直关注的重要问题。 本文以实验室共蒸发制备铜铟镓硒薄膜设备为背景，以实践中薄膜制备工 艺和控制要求为基础，从共蒸发制备的低成本控制出发，使用“三步法”工艺， 设计以温度这个简单的测控元素为控制因子，建立以薄膜质量为控制目标的DCS Control (Distributed System)控制系统模型。通过对整个系统控制原理和 总体结构的分析设计，以可编程控制技术和工控机为手段，重点对硬件实现、 软件设计两方面进行了论述，对控制功能的实现进行了模拟调试，对系统组态 进行了仿真，最后提出了可靠性设计的有关要求，为实际安装使用奠定了基础。 系统中软硬件结构及组态监控是在机上模拟测试的，在实际设备安装使用 中还需进行检测调试。另外在系统设计时，预留有非常大的扩展余地，可根据 用户的特殊需求对控制功能和控制工艺进行扩展和调整。 关键词：共蒸发CIGS三步法工艺薄膜太阳电池PLC Abstract Abstract Solarcellisthe ofthecurrentend CIGS importantaspect greenn州energy,end semiconductorsolarcellsbecomethe inthefieldofflexible compound hotspot becauseofits conversion photovoltaic high efficiency,long—term stability, anti—radiation the resultsistransformatedtothe advantages．Whileexperimental market，itis differentbetweenthatofthesmallareadecentralized very process，manual inthe thatofthe laboratory,end area,continuous preparation large process，automatic controlinthetechnical requirements．Inpreparationofphysicalvapor areathinfilmofCIGShasbeenachievedend abroad，the large producedby controlling of rateofSOurce．Butit the thatthe rateis evapo