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ElectroStatic Discharge Best Practice. Benny Croes– 2003 Index ESD History Definition of ESD Material Reduce ESD Damaged Methodology ESD Check list Why Do We Need ESD Training? 為何需要此ESD訓練課程? Reminder that ESD is a serious problem in the entire electronics industry. 提醒所有員工“靜電”對IC材料的破壞是一個非常嚴重的問題, 它是整個半導體所面臨的一項挑戰. It is believed that 25% of all component failures are a result of ESD. 相信有大約25%的IC材料是因靜電(ESD)的影響而遭破壞 Definitions 定義. Electrical Over Stress(EOS)-The exposure of an item to a current or voltage beyond its maximum ratings. EOS - 指一個IC材料受到其所能負荷的電壓,電流而遭受到破壞的狀態 Electrostatic Discharge (ESD)-The transfer of electrostatic charge between bodies or surfaces at different electrostatic potential. ESD is a subset of EOS. ESD - 即靜電被電之意.指不同電位的二個物體之間產生的電荷急驟流動的現象. Conductors vs Insulators. History (1). Static electricity has been a curiosity for many hundreds of years. After the invention of gun powder by the Chinese, it was no longer a curiosity for anyone manufacturing that product. 靜電現象一直存在於人類歷史中,以前則被認為是一種奇特的異象 Today, special precautions are taken by industries where static sparks could cause an explosion,e.g.., flour mills, hospital operating rooms, etc .. 在今天,靜電所產生的破壞已引起工業界的注意.例如: 麵粉廠的塵爆, 醫院的手術過程,IC製造工業等.. History (2). Strange failures occurred,and the cause of the problem was not easily seen with the optical microscopes-failure analysis read : cause unknown. 靜電造成一些奇特而不易察覺的破壞,F/A分析的結論往往是: 原因 不明. EOS/ESD is perhaps the most significant failure mechanism in the electronics industry today. EOS/ESD對半導體之元件的破壞,可能是當今半導體界最頭痛, 也是最嚴重的一個問題. Fundamentals of Static – Tribocharging 磨擦產生靜電. Whenever two dissimilar materials make contact and then are separated, a static charge is created. 二種不同性質的物質碰在一起再分離也會產生靜電. This situation occurs when one or both of the materials are insulators. 但這種情況為發生在其中一種物質為 絕緣體 Triboelectric Series. ESD Release Mode 靜電放電的模型. Human Body Model 波形. Machine Model 機器放電模型. Charge Device Model 元件充電模型 Definition 定義(1). Definitio

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