固体源化学气相积法制备zno纳米结构及其生长机理的研究.pdfVIP

⑧塑垩查兰堡主堂垡笙奎 回堡塑些兰皇塑塑塑婆!!鱼垒旦垫鲞堕塑墨基兰．鉴塑翌竺里壅 摘 要 纳米结构的ZnO材料由于其在电子学、光学和光子学等领域的优异性能而 倍受关注。ZnO是一种II—VI族化合物半导体材料，在短波长发光二极管、激光 器、紫外探测器、高频和大功率器件及其相关器件方面的有着广阔的应用前景。 随着ZnO尺寸的减少，表面和量子限域效应明显，纳米结构表现出比体材料更 为优异的性能，同时还会产生一些新的电学的、机械的、化学的和光学的性质。 因此ZnO纳米结构材料的研究对于提高材料的性能和开发下一代纳米器件有着 重要的意义。 本文采用固体源化学气相沉积(SSCVD)技术来制各ZnO纳米结构材料， 对制备得到的ZnO进行了结构、形貌、成分、光学性能及其生长机理等各个方 面的研究，全文主要创新性结果如下： 1、利用SSCVD技术，通过不同的生长工艺，成功的制备了球形、花形、 钻石形和棒状四种形貌的ZnO纳米结构，其中球形、花形和钻石形ZnO结构在 国际上是首次报道。 2、球形ZnO结构主要有实心球、空心球和多孔球三种，形成过程基本相同， 都可以用Zn．ZnO的核壳模型来解释。不同的生长条件对球的形貌影响较大，富 氧的气氛有利于得到大颗粒的球表面，较高的设定温度有利于得到直径较大的球 体。 3、花形ZnO结构形貌众多，美观新颖，大部分由六角塔形特色的花瓣晶组 成。其生长机理可以用对称性的形核生长模型来解释。不同的生长参数对花形结 构的形貌影响较大。 4、钻石状和棒状的ZnO纳米结构都可以用氧化锌晶体的极性生长特性来解 释。两者性能在很多方面都相似，形貌上两者的前端都有一个尖端，相结构上两 者都是六角纤锌矿结构ZnO相，且都有非常明显C轴择优取向，晶体结构上两 者都具有单晶体特征，两者的轴向都是[0001]方向，PL测试显示，两种结构都具 有良好的光学特性。 5、各种测试都表明，本文制备得到的球形、花形、钻石形和棒状四种形貌的 ZnO纳米结构纯度高、结晶性好、缺陷少、光发射性能良好。 浙江入学硕士学位论殳 浏休源化学气相沉积法制备ZnO纳米结构及其生长机理的研究 Abstract Nanostmctures ZnOmaterialshavereceivedbroadarentionduetotheir in and isaII—VI distinguishedperformance electronics，opticsphotonics．ZnO semiconductorwhichhas in compound many potentialapplications short-wavelengthoptoelectronic diodes(LEDs)and devices，includinglightemitting laser and devicesetc． diodes(LDs)，ultravioletdetectors、hi曲frequency highpower Withreductionin ZnO more size，llanostructuresmaterialsexhibits excellent withthebulk are believedtobe performancecompared counterparts，which largely there