纳米金刚石作为抛光材料的应用.pdfVIP

纳米金刚石作为抛光材料的应用 王光祖 崔仲呜 (1．郑州磨料磨具磨削研究所，河南 郑州 450000；2．河南工业大学，河南 郑州 450001) 摘要 ：抛光是金刚石应用的传统领域，即便在今天，抛光 包括超精磨仍是仪表和机械制造工艺过 程 中的一个最重要环节。可是，常用的磨料颗粒尺寸均大于0．1ixm(100nm)，已不能满足高级光 学玻璃、晶体、宝石和金相表面的超 高精度 的表 面加工。纳米金刚石兼具有金刚石和纳米颗粒的 双重特性 。纳米金刚石 的易团聚性是严重影响其未能大量应用的重要原 因。分散与分级技术是其 能否实实在在服务于现代工业和科学技术的关键 。初步研究结果表 明，纳米金刚石应该是一种 理想的超精抛光材料 。本文对其发展现状 ，团聚与分散及其初步应用的效果等做 了简要 的阐述 。 关键词 ：纳米金 刚石 分散与解团 理想的抛光材料 1 引言 半导体硅片的加工。 随着新型功能陶瓷材料、人工晶体及半导体行业 由于纳米金刚石的比表面积大、比表面能高，处 的迅速发展，对产品的加工精度提出了越来越高的要 于热力学不稳定状态 ，所以在介质 中散稳定性差 ，容 求，超精密加工的精度从20世纪60年代的微米级提高 易发生团聚，使其在应用过程 中受到严重制约。也就 N8o年代 的0．0l m，再发展到 目前的纳米级(最高可 是说 ，纳米金刚石抛光液制备的关键技术是纳米金刚 达到原子级1。 石在介质 中的长期稳定分散及粒度 的均一性 、这是一 纳米金刚石兼具有金刚石和纳米颗粒 的双重特等 道共 同的世界性技术难题。 特点，而且颗粒尺寸比最好的磨料要小一个量级，且 因为广大的科技术工作者对其应用前景十分看 碳表面极易受化学改性的影响，能和任何极性介质兼 好 。所 以，在过去的年月里有许许多多的探索者，投 容，这种特点使得纳米金刚石颗粒有可能在载体中均 身到了解决这一技术难题的工作 中，并做了大量有益 匀分布 。利用高纯纳米金刚石的超硬特性 、粒子微细 的工作 ，获得了许多有实用价值的技术数据、本文将 及粗糙的表面极易除去材料表面的起伏 ，可将材料表 就纳米金刚石的分散与纳米金刚石抛光液的应用进行 面粗糙度减小到纳米级 。因此 ，被视为超精抛光的新 综述 。 一 代理想磨料。 2分散问题的提出 纳米金刚石抛光液在 日本和欧美 已在一定范围内 纳米金刚石是在爆轰这种极端非平衡条件下合 得到了应用 ，已开发 出水溶性 、油溶性和气雾剂 的纳 成 的，颗粒表面 的大量原子悬空键使其化学活性大 米金刚石抛光剂。据报道 ，用纳米金刚石制成的抛光 大提高 ，非常大 的表面积 ，使其有 巨大 的表面能， 液成功地用于表面光洁度要求极高的X射线反射镜和 容易形成硬的难 以解聚的团聚体是不可避免 的。因 《石材》 Q生墨塑 ·15 · 石季薏 STON鹱 此 ，是 自其1984年诞生二十多年来一直未能大量应 刚石粉 ，制得的悬浮液中纳米金刚石的二次粒度为上 用 的重要原 因。 百个纳米 。 商业纳米金刚石干粉 团粒度平均达2 rn。纳米 AgibalovaLv等 在水中通过超声能量分散纳 金刚石表而含有大量有机官能团，主要为一OH (羟 米金刚石粉 。所得悬浮液 中团聚体的粒度在300nrn 基 )、一c=O (羰基 )、--COOH (羧基 )以及一些 左右 。 含氮的基团，所占面积可达颗粒表面的 10％～25％。 陈万鹏等 曾尝试用水+磷酸钠、乙醇、明胶水 这些含氧活性基团和含氮活性物质可与许多有机化合 溶液+碳酸钠等介质对纳米金刚石进行分散研究。 物反应或吸附。为纳米金刚石在油或水介质中的分散 许向阳等 在机械力作用的同时，加入无机电解 提供 了基础 。