2010CB631000-G.docVIP

项目名称： 介观尺度材料特性与服役行为表征的基础研究 孙军 西安交通大学 2010年1月-2014年8月 教育部 从目前国内外相关研究领域的现状发展趋势和来看，如何结合材料热/动力学参量尺度效应，发展新的理论和方法，正确地表征的是材料、固体力学物理等渴求解决的关键科学问题。包括表能的解析解、表面吸附的影响、对材料相变临界点的影响、扩散激活扩散系数界面热失配和缺陷特征等的表征铜连微量铝合金的偏析2) 多层膜及组元材料形变/相变与损伤失效及其多场效应多层膜多层膜及组元材料形变/相变与损伤失效及其多场效应主要研究内容： 原子单双向扩散及膜内原子晶界或晶内扩散的异同及其驱动制约因素膜基膜基材料的宏观变形行为与微观滑移相变机理位向塑性变形3) 三维互连结构的多场服役行为与失效机理及结构性能优化主要研究内容： 施加模拟服役条件的多场耦合环境，不同不同焊料界面化合物的形成与演变规律揭示介观性能互连体结构的损伤规律和失效行为（临界电流，临界尺度，临界应力等）延缓和抑制如增强界面材料的散热性，优化异质界面的热匹配性，控制界面化合物的形成与界面内应力等并通过与微电子封装制造业的合作进行检验。through silicon via）与循环载荷下的损伤行为和失效机理实验与理论指导 二、预期目标 4.1 总体目标 本项目针对微电子元器件和微机电系统所用介观材料的性能变异及其多场服役的特点，以解决介观尺度材料特性及其服役行为表征这一材料科学本身发展面临的挑战为目标，以多层异质薄膜体系在典型服役条件下的失效特征研究为核心研究内容，揭示介观材料在电/热/力典型外场、尤其是多场耦合下的失效规律，阐明介观体系在多场作用下的物质迁移与输运、约束塑性流变/相变行为的微观机制，探索介观尺度下材料可能具有的异常物理现象及其本征特性，建立基于尺度/异质约束效应和典型服役环境的材料介观特性与服役行为表征新理论，并据此发展相应的实验表征与测试新技术和新方法，在介观尺度原位定量表征技术等方面取得突破，形成相关材料介观特性与服役行为表征评价的实验测试技术规范。形成一批具有自主知识产权的专有技术和发明专利；培养一批优秀人才、初步建成具有原始性创新能力的以介观材料特性及其服役行为表征为主攻方向的创新团队和创新基地；使得我国在这一重要研究领域居于国际先进水平。 五年预期目标 科学理论层面1) 获得介观尺度范畴电/应力场致物质迁移扩散的基本热/动力学参量、主要途径和制约因素的准确表征，以及结构与性能的应力/应变调控机制；了解尺度、界面结构、晶体取向、应力/应变对于结构与界面损伤的影响。建立介观物质迁移与界面损伤物理模型，为结构与界面优化、服役失效机理研究提供理论基础。 2）阐明电/热/力等典型外场及其耦合下多层膜与膜基体系约束塑性流变、损伤失效的规律、机制与微结构物理图像；揭示组元材料形变/相变行为的本征特性及其位错发射与形核、孪生和晶界滑动等变形模式的微观调节机制；建立与尺寸/界面效应相关的材料介观特性及损伤失效等服役行为的理论模型。 3) 揭示三维集成互连材料与结构在介观尺度上的多场耦合服役行为与损伤特征及其主要因素与服役失效的临界条件；阐明焊点、互连、封装结构在服役条件下的多尺度结构演化、损伤、疲劳、蠕变等失效机理；建立多场耦合条件下互连材料和结构的介观失效模型，并探索提高系统可靠性和使用寿命的方法途径。 4）发表高质量的学术论文500篇，包括在国际上有重要影响的系列研究论文；出版理论体系明确、特色鲜明的学术专著3~5部。培养造就一支团结合作、富有朝气和创新精神的材料介观性能表征方向的基础与高技术研究团队，其中中青年学术带头人10名以上，在国际上有一定影响的知名学者2~3名。 关键技术层面1）发展适用于介观材料电迁移和应力迁移过程电噪声非线性涨落参量的无损检测与在线分析技术；建立和完善原子迁移扩散导致表/界面形态演变的量化统计表征方法；发展与外场交互作用下宏/微观应力/应变弛豫和非均匀分布的定量评测技术，并开发可大幅度改善器件服役特性的界面/应变调控技术。 2）发展电镜体系中电/热/力等典型外场及其耦合场下多层膜与膜基体系及组元材料扩散迁移与形变/相变行为的原位动态观察与定量表征技术；建立和完善循环加载模式下材料服役损伤与断裂特性的定量表征平台；发展纳米压入与超声波相耦合探测多层膜与组元材料形变/相变、损伤失效行为的方法和技术。 3）针对三维集成互连材料和结构特性，建立力/热/电多场耦合的多尺度力学理论和计算方法；建立多尺度高分辨率、高测量精度、多场耦合的介观尺度力学检测方法；发展微电子材料和器件在多场耦合下服役行为的 4）在国内初步建立材料介观特性与服役行为的表征平台：主要依托于金属材料强度国家重点实验室、沈阳材料科学国家实验室、南京微结构国家实验室（筹