COlt;，t;激光诱导液相金属沉积技术的研究.pdfVIP

摘 要 本文探索性地研究了利用小功率 CO2 激光在环氧树脂基材表面制备Cu 金属线的 基本工艺及理论 利用几种表面分析方法研究了Ag/Pd 金属层 Ag-Cu 金属层的组织 结构特征 力学性能以及有关的物理性质 试验结果表明 运用小功率的CO2 激光在环氧树脂玻璃纤维板等非导电基体的表 面局域诱导沉积出了具有催化活性的 Ag 沉积层 该沉积层在基体表面呈颗粒状连续 分布 同时向基体内部渗透 经过化学镀 在催化活性金属表面上可以得到完整的铜 金属线 研究表明 影响CO2 激光诱导液相沉积的主要因素有激光的光斑直径D 输出功 率P 扫描速率V 银盐溶液的浓度C 和液面厚度H 等 金属沉积层的表面形貌随激 光功率的增加而趋向致密和完整 宽度和厚度随激光功率的增加而有所增加 激光诱 导沉积层的宽度和厚度随着扫描速度的增加而减少 随着盐溶液的浓度C 的增加 金 属沉积层的表面形貌趋向致密 厚度有所增加 随着液面厚度H 的增加 金属沉积层 表面分布愈来愈不连续 金属沉积层的宽度和厚度也逐渐减小 通过正交实验优化组合 可以确立激光诱导化学液相沉积金属Ag/Pd 的优化工艺 参数范围 激光输出功率: P=3 7 W 激光束扫描速率 V=0.55 1.75 m/min 盐溶液浓度 C=0.3 0.7 mol/L 基材上液面厚度 H=0.1 1.5mm 实验结果表明 CO 激光诱导液相沉积遵循热分解机理 CO 激光的局域照射扫 2 2 描和金属化合物的存在是实现CO2 激光局域诱导金属沉积的必要条件 实验研究表明 在激光诱导金属沉积的过程中 存在着吸收 加热 熔融等物理 过程 激光束加热环氧树脂基材的过程中 基材内部存在温度场 环氧树脂基材表面 的温度模型为 2a P a t 2a P exp(a H ) a D T 0,t = A s t = A 0 1 t l p l p V t t 温度模型表明 基材表面的温度与激光功率 P 激光束扫描速度 V 以及基材表面的 2a A p s 液面厚度H 有关 其表面的最高温度 T a t max t 0 l t I 结果表明 在激光诱导化学沉积过程中 影响化学反应速度常数的理论公式 E E l pD 2 p V ln k a ln A a t ln A RT 2Ra 4P exp(a H ) a D A 1 t 该理论公式表明了几个关键工艺参数对化学反应速度常数的影响 EPMA 的研究表明 激光功率P 扫描速度V 基材表面溶液厚度H 是影响基材 表面金属分布致密性 均匀性的直接因素 Ag 或Pd 除了在环氧树脂