CVD Bl,xgt;C涂层的微观结构、沉积特性、晶化及氧化行为.pdfVIP

摘要 摘 要 连续纤维增强的碳化硅陶瓷基复合材料(CMC．SiC)在高于450℃的氧化环 境中，会因纤维和热解碳界面层的氧化而缩短使用寿命。化学气相沉积／渗透 物，填封陶瓷基复合材料的裂纹和孔隙，对材料起到很好的抗氧化保护作用。 本文以CVDBxC涂层为研究对象，通过对不同沉积工艺条件下制备的BxC 涂层进行微结构分析，建立了沉积参数与产物微观结构、物相组成之间的关系； 探索了CVDBxC的沉积机理；考查了CVDBxC沉积产物的晶化及氧化行为。主 要研究内容及结果如下： 1、研究了CVDBxC的微观结构和物相组成。通过不同工艺条件下制备的 BxC涂层的微观分析发现，CVDBxC的微观结构主要有两种：一种表面呈砖块堆 积状形貌，B含量高，基本不含游离碳，具有一定的结晶度；另一种表面呈菜花 状形貌，B含量低，含有游离碳，涂层为非晶涂层。 2、研究了沉积参数与沉积产物微观结构、物相组成之间的关系及CVD BxC 的沉积机理。通过对BxC涂层的微结构分析得到：沉积温度、BCl3／cI-14流量比能 影响沉积产物的微观结构或物相组成，而H2／CH4流量比对沉积产物的影响不明 显；CVDBxC可以通过两种不同的机理过程进行沉积。 3、研究了CVD BxC涂层的晶化及氧化行为。涂层在：1600．2000℃，氩气； 服役环境，四种环境中进行处理，处理后的微观分析结果表明：在高温惰性环境 中，涂层内部会生成B4C晶粒和石墨碳，并且随温度升高，晶粒长大，碳元素石 墨化加剧；在干氧和湿氧环境中，涂层能在1000℃以下的温度范围内对基体材料 起到抗氧化保护作用，尤其在700℃(中等温度)时具有良好的自愈合能力；在 模拟服役环境中，CVDBxC涂层内部可能产生微观应力，形成微裂纹。 关键词：碳化硼；CVD；微结构分析 Abstraet Abstract Whenthecontinuousfiberreinforcedsiliconcarbidematrix composites to environmentover lifeofthemcan (CMC—SiC)areexposedoxidizing 4500C，the beshortened andthe betweenfibers duetotheoxidationofthefibers PyCinterlayers andmatrixes．The CVD／CVI Canbe BxC by technique coatings／matrixesprepared oxidizedinto atthe of600一I0000Cin B203 range oxidizing liquid temperature Cansealcracksto theseceramicmaterialsfrom atmosphere，which prevent oxygen attacking． In wascarriedoutontheCVD thesis，a BxC present systemics