典型材料晶体学电子背散射技术的研究.pdfVIP

摘要 本论文采用FEIXL。30型环境扫描电镜与HKL公司电子背散射衍射仪构成的 分析系统进行多种材料的实验研究。 对EBSD菊池衍射花样的收集参数进行了分析和优化，优化参数为：加速电 实验并完善了一些EBSD样品制备方法。EBSD样品的制备多采用机械抛 光、化学浸蚀、电解抛光及离子刻蚀等方法。金属材料采用机械抛光加电解抛 光或化学浸蚀的方法。陶瓷材料仅用机械抛光即可，针对所用电镜的不同配置， 有时需要在陶瓷样品表面喷碳，碳层厚度要适当。离子刻蚀多作为最后一道工 序，用于去除前期工序中所产生的机械应力与化学干扰层。 对单晶硅片、铁板材、铝板材、铜锌合金、双相铁基合金进行了EBSD测 试，验证了优化参数的合理性。得出了晶体取向、晶界特征、晶粒尺寸分布等 微观结构信息，对化学成分相同的不同物相进行了鉴定，也对材料的织构进行 了初步分析。 到目前为止，国内外应用EBsD技术研究陶瓷材料的报导较少。本论文对 陶瓷材料的EBSD试样制备及测试分析进行了初步探索，首次对锆酸镧 La2zr207陶瓷进行了测试，并与xRD测试结果进行对比，得到了该样品的结构 信息。 关键词：电子背散射衍射(EBSD)电子背散射衍射花样(EBSP)菊池带取 向 ABSTRACT Inthis ofFEIXL．30 electron thesis，theanalVticalsystemcomposed scanning andeIectron dim‘actionisusedfor some backscattered studying microscopy typical materials． The the for theEBSD experimentsdetenniningoptimumparametersobtaining werecarried arethe size pattem out．They 20KVspot 6， accelemtingVoltage distancel5mm，detectdistance60mmandthe tilt 70～71o． workin2 sampleangle EBSDcollectsthediff-raction themicronthick signalcomin2行om toplayer’ therefore is critical．Themethodsinvolvedhere samplepreparationabsoluteIy includemechanical and ion polishing，electro·polishing，chemicaletching etching． Formetallic haVe materials，which goodelectro-conductiVity，theelectro-polishing orthechemical isusedinsuccessiontomechanicaltoremovethe