PMMA基极化薄膜的制备改性及其光波导研制.pdfVIP

摘要 摘要 极化聚合物材料具有非线性系数高、电容率低、易加工处理、与现有集成工 艺相兼容等特点，因而在集成光学特别是光通信器件领域有着广阔的应用前景。 而最近新兴的无机／有机杂化材料，由于兼备聚合物的柔韧性、高透光性和无机 物的热稳定性等特点，而备受材料界关注。 本文的主要工作就是制备两种体系极化聚合物薄膜，包括主客体掺杂型体系 和有机／无机杂化型体系，并运用光漂白工艺制备出以杂化型薄膜为芯层的Y型光 波导。实验中首先以分散红l(DRl)为生色团，制备基体为PMMA的主客体掺 杂型极化聚合物体系。DRl含量为1帆％的聚合物PR．10的疋只有94。C，而PMMA 的瓦为105C；并以PR．10为例，对主客体掺杂型极化聚合物薄膜的电晕极化工艺 进行优化得出较佳的极化条件为：极化电压为4．5kV，极化时间为30min，极化温 度为95。C，极化薄膜的取向序参数为0．182，常温下薄膜表现出较快的弛豫速度， 60d后取向度仅为初始值的21％；二次谐波产生(SHG)实验结果表明聚合物薄 膜的二阶非线性系数西3为1．90x10-8esu。 然后通过溶胶．凝胶(s01．gel)工艺合成以MMA为有机物骨架，以MSMA为 偶联剂，以TEOS为无机前体的有机／无机杂化材料PMMA／Si02，并且以此为主体， 显示出明显改进的热稳定性和优异的抗弛豫性能，电晕极化后在常温下保存20d 后取向度依旧保持为初始值的91％，并且趋于稳定不再下降。 在此基础上，以PMMA／Si02为包层、有栅无机杂化型薄膜为芯层，应用光 漂白法制备出Y型光波导，对其制备工艺进行探讨和优化，尤其是铝掩模层的制 作和光漂白对波导薄膜的影响。运用光纤与波导直接耦合装置对Y形光波导进行 性能测试，由功率计测得Y分支的光强比为44：56，光损耗值约为9dB。 关键词：极化聚合物；有机／无机杂化；光波导 Abstract Therewere nonlinear materials，of advantages，foroptical(NLO)poledpolymer large nonlinear andmonolithic opticalcoefficient，lowpermittivity,easyprocessing thus that roleinthefieldof WaS an integration．Itexpectedmeyplayedimportant as integratedoptics，especiallyhighperformancephotonicdevices，suchhigh·speed filtersandbroadbandmodulators．Inrecent switches，tunable optical years， optical materialshavedrawnmuch the organic—inorganichybrid attention,．勰involve ofboth and such舔high advantagesorganicinorganicphases andbetter and flexibility toughness． stability In this kindsofNLO thinfilms thesis，two