PET基氟碳膜结构及性能研究.pdfVIP

摘 要 聚四氟乙烯 等的物理和化学性质而倍受人们的关注，但利用磁控溅射技术，以其为靶材研制 高附加值的多功能面料研究极少。 本文采用磁控溅射技术，以聚四氟乙烯为靶材，在PET基底上沉积制备氟碳 膜防水透湿织物。对影响性能的工艺条件(放电功率、真空度、处理时间)及机 理进行了有益探索。 表面形貌，观察了不同功率、压力和时间下对氟碳膜表面形貌的影响，系统研究 了氟碳膜表面结构随功率和压力的变化规律，发现功率提高使得氟碳膜颗粒分布 均匀，结合更加紧密，而提高压力，氟碳膜的颗粒更加密集，并且溅射条件不同， 粒子的形态、粒子间构成的介观结构也不相同。随着时间的增加，成膜颗粒先连 成岛，然后勾联成膜，没发现单分子层生成。 率和时间与CF膜结构及各组分比例的关系及变化规律，计算了F／C比，发现CF 膜交联结构占很大比例。X-ray衍射仪对溅射沉积膜的结构进行了研究结果表明 CF膜是无定型的。 s)系统对CF膜的光学性能进行了研究， 首次利用紫外可见光光谱(UV--Vi 发现特定条件下得到的CF膜对紫外可见光有良好的吸收。 关键词 磁控溅射；PET；PTFE；CF膜 成膜机理：结构：紫外可见光谱 Abstract a beenreceivedconsiderableattentionbecauseits Fluorocarbon(PTFE)has of excellent chemical and suchas chemical physical properties highhardness，high and thermal arestillless on stabilitylarge conductivity．However，there reports of valuefabric radio preparationhigh by frequencymagnetron sputtering． In this are films on paper，Fluorocarbondeposited polyetylene substrateradio by frequencymagnetronsputtering toexamine of theeffect on targets conditionthe and discharge properties of films． deposited Theeffectofthe and on time isobserved