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实习报告名称：吸气剂的概念与应用 　　一、实习报告名称 　　吸气剂的概念与应用 　　二、实习起止时间 　　2008年8月28日到2008年9月28日 　　三、实习地点 　　有色金属研究总院电子所吸气材料室 　　四、实习内容(含原理简介) 　　4.1 吸气剂的概念 　　(1)吸气剂的分类 　　在真空器件中通过物理和化学作用能有效地吸收活性气体型的功能材料，简称吸气剂，又称消气剂或收气剂。 　　长期保持真空器件高的真空度是研制长寿命，高可靠真空器件(如电子管激光管，电光源等)的重要工作之一。真空器件的真空度对器件的性能，特别是对器件的寿命和可靠性有着十分重要的影响。真空度降低往往是导致器件性能恶化甚至失效的主要原因之一。 　　为了使器件内残余气体的成分和压力达到最满意的程度，可以采取多种解决办法。一是延长排气时间，使器件内的残余气体尽可能地被抽气泵抽走;二是尽可能减少器件内部零件上吸附的气体;三是采用无油排气技术，消除排气过程中的污染。以上这些措施在某些情况下可以起到积极的作用，但是有时并不理想。另外，即使密封时器件的真空度达到所需要的程度，但在储存以及工作时，由于泄漏，吸附气体的解吸和电离，以及各种表面化学反应等原因，器件内的残余气体的种类及其分压力也会发生变化，从而导致真空器件性能降低，甚至失效。 　　实践证明，在进行气体分析的基础上，结合不同真空器件的特点，采用不同的吸气材料，可以有效地保持和提高器件的真空度。而且采用吸气材料还经济、简便、有效和持久的优点。随着各高效吸气材料的研制成功，吸气材料在电子、军工国防、原子能、轻工、石油等许多领域已经获得广泛的应用。 　　随着电真空器件的发展，吸气剂逐步发展成为蒸散型和非蒸散型两类： 　　1蒸散型吸气剂 　　蒸散型吸气材料主要靠金属的蒸散和蒸散后形成的包膜表面吸气，以钡、锶、镁、钙及其合金为主。最早的蒸散型吸气材料是金属镁，效率很低。1903年改用钡作为吸气材料，与镁相比，钡可以吸收更多种类的气体。但是钡在空气中的化学性质太活泼，因而在器件装配过程中很难控制。为了降低钡的活性，将活性较低的金属如Mg、Sr、Al等金属加入到钡中，制成二元或三元合金。 　　目前，以钡为代表的蒸散型吸气材料在阴极射线管，电光源等真空容器中已经得到广泛应用。 　　蒸散型吸气材料虽然已经广泛应用到各种真空电子器件中，但它也存在一些不可避免的缺点：一是可能蒸散到真空器件各处，有时会对真空器件的设计和制造带来不利的影响;二是不能应用于充汞和充氮的器件中，使用范围较窄。 　　2非蒸散型吸气剂 　　非蒸散型吸气剂又称体吸收材料，主要包括Ti、Zr、Hf、Th等金属及其与Al或第一过渡元素组成的合金。他们适于应用在不能使用蒸散型吸气剂材料的场合。例如：器件体积很小，无合适的蒸散沉膜表面，怕漏电和怕引入寄生电容的器件以及工作温度高的器件等场所。非蒸散型吸气剂材料在经过适当的热处理激活，清除了表面的钝化层，露出了新鲜的活性表面之后才具有吸气能力。目前，非蒸散型吸气剂材料主要以锆和钛为基，同时添加其他的元素或金属间化合物组成。根据制备工艺，大致分为以下几类： 　　直接破碎型 　　这种吸气材料经过合金熔炼、破碎、粉制、压制成型后不需要烧结就可以直接使用，如Zr-Al、Zr-V-Fe吸气材料等。这种吸气材料使用工艺简单，成本低的优点，但是不经过烧结，机械强度不够好，在振动条件下使用容易掉粉，此类吸气材料多应用于不要求振动的环境下。 　　涂覆型 　　这种吸气材料经合金熔炼、破碎、制粉与成型剂混合调制成浆状，直接涂覆在所需要材料或器件的表面，激活后使用。 　　多孔烧结型 　　这一类吸气材料在压制成型后需要经过高温、高真空烧结，即用粉末冶金的方法制备，与直接破碎型相比，由于此类吸气材料经过了高温，高真空烧结，因此其机械强度较好，并且还具有品种多的优点，多用于条件较高的特殊电真空器件上。但相对其他种类的吸气材料，其工艺复杂，成本相对较高。 　　氢化粉碎型 　　传统的吸气材料熔炼合金铸造后是通过机械破碎的方法粉制的，然而对一些不易破碎，并且在机械破碎中容易自燃和氧化的合金而言，采用氢化法粉碎能避免以上缺点。这一方法是将熔炼好的合金锭放入容器中，预先抽真空并冲入大量的氢气，一定时间后，铸锭强烈吸氢，产生氢脆粉化而制得。 　　(2)吸气剂的吸气理论 　　蒸散型吸气剂吸气过程有三个主要作用因素：蒸散吸气、表面吸附和内部扩散,三者之间的关系：首先是蒸散吸气，表面吸附孕育着扩散因素，内部扩散必须以表面吸附为前提。非散型吸气剂的吸所过程：表面吸附，内部扩散。 　　①蒸散吸气： 　　在受热蒸散时，飞溅出来的钡原子与管内空间的气体分子相碰撞，在碰撞过程中有的钡原子仅仅改变其蒸散方向，有的则与气体分子起化学作用，产生相应的化合物，并且沉积在管壳内表面上