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柔性有机场效应体管(ofet)器件性能的研究
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目 录
中文摘要………………………………………………………………………………………………．I
英文摘要……………………………………………………………………………………………IIl
l 1Il{I言………………．．．．…．……………．．…．．．……．．…．．…………………………．．．．．．…．……．．．．．……．．…………．…．．1
1．1柔性有机场效应晶体管的研究背景……………………………………………………………．1
1．2柔性有机场效应晶体管的研究进展…………………………………………………………3
1．3柔性有机场效应晶体管的器件结构…………………………………………………………．．4
1．4柔性有机场效应晶体管的主要材料…………………………………………………………7
1．4．1有源层材料………………………………………………………………………………．7
1．4．2栅绝缘层材料………………………………………………………………………．．8
1．4．3电极材料………………………………………．．．………………………………………9
1．4．4柔性衬底材料……………………………………………………………………………。10
1．5柔性OFET的工作原理及性能表征…………………………………………………………．1l
1．5．1OFET的工作原理………………………………………………………………………………………12
1．5．2
OFET的电流电压特性……………………………………………………………………13
1．5．3OFET器件性能表征……………………………………………………………………………15
1．6柔性有机场效应晶体管的应用………………………………………………………………．16
1．6．1柔性显示………………………………………………………………………………．．16
1．6．2柔性传感器阵列………………………………………………………………………。17
7
1．6．3柔性射频标签…………………………………………………………………………。1
8
1．6．4柔性有机集成电路………………………………………………………………………。l
2基于聚合物绝缘层的柔性OFETs的研究……………………………………………………………。19
2．1聚甲基丙烯酸甲酯为栅绝缘层的柔性OFETs的试制………………………………………．20
2．1．1实验所需药品及设备………………………………………………………………………。20
2．1．2器件结构…………………………………………………………………………………．．20
2．1．3工艺流程………………………………………………………………………………。2l
2．1．4器件性能测试及结果分析……………………………………………………………29
2．2机械性能测试…………………………………………………………………………………………。3l
2．3本章小结……………………………………………………………………………………………………．．35
3探索栅绝缘层对柔性OFETs的影响……………………………………………………………………。36
3．1溶液浓度对器件性能的影响…………………………………………………………………………。36
3．2旋涂转速对器件性能的影响……
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