分析晶 体硅 太阳电池 前电极形成机理.docVIP

本文由黑色枫叶2贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 8 ? 材料导报 : 研究篇 　 2009 年 7 月 ( 下) 第 23 卷第 7 期 ( 中山大学太阳能系统研究所 ,国家新能源工程技术研究中心华南分中心 ,广州 510006) (National Engineering Research Center for Renewable Energy Center of So ut h China , Instit ute for Solar Energy Systems , Sun Yat2sen U niversity , Guangzhou 510006) 0　 前言 1975 年丝网印刷技术首次应用于太阳电池制备前 、 背电 极[ 1 ] 。目前市场上 85 %以上的晶体硅太阳电池都是采用丝 网印刷技术[ 2 ] ,通过丝网印刷设备将 Ag 浆料印制在太阳电 池前表面氮化硅减反射膜上 , 再经过高温烧结工艺形成 Ag2 Si 接触电极 。烧结工艺的主要功能是 Ag 浆料溶解 SiN x 减 反射膜 ,形成 Ag2Si 电极接触 ; H 原子由表层向内部扩散 , 钝 化体内杂质和缺陷 ; 形成 Al2Si 合金背表面场 。本实验主要 对在高温烧结条件