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大功率电子枪技术介绍 随着科学技术的迅速发展，对高纯金属及合金的需要量越来越 多，常规的冶炼方法已很难满足要求，而真空电子束熔炼是一种有效 提纯方法，特别是对于在冶炼温度下具有较低蒸汽压的金属和合金更 为有效。 大功率电子枪技术可对如Ta、Nb、Mo、Ti、Cr、Cu等金属进行 净化，及提精。作为超导线的基体材料所采用的高纯铜，必须具有很 高的纯度（99.99%以上），而且要求结构致密，无气孔等缺陷。完全 依靠电子枪技术。 工作原理：电子束熔炼是一种特殊的真空冶金设备。利用炉 2 中的电子枪可将几十至数百kW的高能电子束聚焦在1cm 左右的焦点 上，产生3500°C以上的高温。当高能电子束聚焦在欲熔炼的钨、钼、 钽、铌、锆等难熔金属原料上时，就能够将这些金属熔化，达到熔炼 或提纯的目的。由于高温区域有限，熔化的金属需要一点一点地滴入 下面的熔池，经结晶器冷却，凝固成锭。在高真空和高温的作用下， 液态金属中的气体和杂质大量蒸发。从而得到高纯度的致密的凝固态 金属锭。 电子束熔炼炉是高温难熔金属熔炼和提纯的专用设备。电子束熔 炼在高真空下进行，熔炼时的过热温度高，维持液态的时间长，使材 料的精炼提纯作用得以充分有效地进行。电子束熔炼时，材料主要发 生脱气、分解、脱氧、金属杂质的挥发和不熔杂质的上浮等。其中， 不熔杂质上浮而富集在铸锭顶部，可在切头时去除。 在真空下，电子枪的阴极被加热产生热电子逸出。在加速电压（大 于20kV）的作用下，热电子向阳极（零电位）加速运动。由于聚束 极的作用，电子束从阳极的中心孔通过，向下继续运动，经磁聚焦透 镜的多次聚焦和磁偏转扫描透镜的调节，使电子束准确而集中地轰击 到原料棒的表面。在原料和熔池表面产生3000°C以上的温度，原料 的表面被加热、熔化、滴入熔池中。熔池就是锭上端的熔化部分，其 周围是水冷铜坩埚（结晶器）。由于电子束的加热作用，熔池保持不 断地上下、内外对流。随着熔化的原料不断滴入，熔池表面不断上升， 拖锭装置又将锭不断向下拉动，使熔池表面保持一定高度。 工作方式： 电子束对送进中的棒 材进行照射、使棒材滴 入角形坩埚充分进行 熔解?再将熔液倾入倒 至引拔水冷坩埚。在引 拔水冷坩埚中进行融 解?凝固?引拔、制作铸 块。 棒材供给部分可以安装多种 类型的坩埚、用以对应各种材 料的工艺需要。 棒材供给的先端部安装 有法兰、可容易对各种坩 埚进行交换。 多种类型的坩埚 1. 水冷点坩埚 媒体对北京长城钛金公司的报道： 传统电子枪和新型电子枪对比 传统电子枪 新型电子枪 在高真空下才可以启动工作，操作复杂 低真空下就可以工作，大气下操作不会损坏 部件 功率损失小于3% 功率损失小于1% 阴极需要钨丝且正常寿命400H 使用阴极块，寿命1000H 电子枪内部需要三级高真空，体积庞大 内部不需要抽真空，体积小巧 高电压35KV 工作，功率250KW 中电压30KV工作，功率300KW 1、工作原理 电子束熔炼是一种特殊的真空冶金设备。利用炉中的电子枪可将几十至数百 kW的高能电子束聚焦在 2 1cm左右的焦点上，产生3500°C以上的高温。当高能电子束聚焦在欲熔炼的钨、钼、钽、铌、锆等难熔金 属原料上时，就能够将这些金属熔化，达到熔炼或提纯的目的。由于高温区域有限，熔化的金属需要一点 一点地滴入下面的熔池，经结晶器冷却，凝固成锭。在高真空和高温的作用下，液态金属中的气体和杂质 大量蒸发。从而得到高纯度的致密的凝固态金属锭。 电子束熔炼炉是高温难熔金属熔炼和提纯的专用设备。电子束熔炼在高真空下进行，熔炼时的过热温 度高，维持液态的时间长，使材料的精炼提纯作用得以充分有效地进行。电子束熔炼时，材料主要发生脱 气、分解、脱氧、金属杂质的挥发和不熔杂质的上浮等。其中，不熔杂质上浮而富集在铸锭顶部，可在切 头时去除。 在真空下，电子枪的阴极被加热产生热电子逸出。在加速电压（大于20kV）的作用下，热电子向阳极 （零电位）加速运动。由于聚束极的作用，电子束从阳极的中心孔通过，向下继续运动，经磁聚焦透镜的 多次聚焦和磁偏转扫描透镜的调节，使电子束准确而集中地轰击到原料棒的表面。在原料和熔池表面产生 3000°C以上的温度，原料的表面被加热、熔化、滴入熔池中。熔池就是锭上端的熔化部分，其周围是水 冷铜坩埚（结晶器）。由于电子束的加热作用，熔池保持不断地上下、内外对流。随着熔化的原料不断滴入， 熔池表面不断上升，拖锭装置又将锭不断向下拉动，使熔池表面保持一定高度。 2、 电子束熔炼炉的结构 整个电子束熔炼炉由炉体部分、电子枪部分、真空系统部分、高压电源部分、进料系统、拖锭系统、 自动控制系统、水冷系统等组成。如图1所示。