《03-透射电子显微分析》.pdf

实验三. 透射电子显微分析 学时 2 要求 必做 类型 设计 类别 专业基础 一 实验目的 1. 了解透射电子显微镜的结构和工作原理 2. 了解透射电子显微镜样品制备的方法 3. 了解透射电镜的分析方法 二 实验原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源 用电磁透镜聚焦成像的一种高分 辨本领 高放大倍数的电子光学仪器 图 1 利用光学透镜表示电子显微像成像过程的光路图 三 实验仪器设备及流程 本实验用仪器为日本电子公司生产的 JEM-2010 UHRTEM 高分辨电镜 仪器性能指标 加 速电压 200KV 线分辨率 1.43Å 点分辨率 1.9Å 它由电子光学系统 电源与控制系统及真 空系统三部分组成 电子光学系统是透射电子显微镜的核心 它分为三部分 照明系统 成 像系统和观察记录系统 1 照明系统 照明系统由电子枪 聚光镜和相应的平移对中 倾斜调节装置组成 其作用是提供一束 亮度高 照明孔径角小 平行度好 束流稳定的照明源 电子枪是透射电子显微镜的电子源 常用的是热阴极三极电子枪 本机用的是六硼化镧 电子枪 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束 以最小的损失照明样品 调节照明强度 孔径角 和束斑大小 一般采用双聚光镜系统 2 成像系统 成像系统主要是由物镜 中间镜和投影镜组成 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜 透射电子显微镜 分辨本领的高低主要取决于物镜 物镜的分辨本领主要决定于极靴的形状和加工精度 物镜 的后焦面上安放的是物镜光阑 中间镜是一个弱激磁的长焦距变倍透镜 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合 则在荧光屏上得到一幅放大像 这就是电子成像操作 如果把中间镜的物平面和物镜的后焦 面重合 则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样 这就是电子衍射操作 投影镜的作用是把经中间镜放大 或缩小 的像 或电子衍射花样 进一步放大 并投 影到荧光屏上 目前 高性能的透射电子显微镜大都采用 5 级透镜放大 即中间镜和投影镜有两级 分 第一中间镜和第二中间镜 第一投影镜和第二投影镜 3 观察记录系统 观察和记录装置包括荧光屏 照相机构和计算机 2 透射电镜的主要部件 1 样品平移与倾斜装置 样品台 2 电子束倾斜与平移装置 3 光阑 1 聚光镜光阑 2 物镜光阑 3 选区光阑 图2 JEM-2010 透射电镜剖面图 3 透射电镜的成像衬度 透射电镜的成像衬度分为质厚衬度 衍射衬度和相位衬度 质厚衬度是由于非晶试样中各部分厚度和密度差别导致对入射电子的散射程度不同而 形成的衬度. 衍射衬度是基于晶体薄膜内各部分满足衍射条件的不同而形成的衬度 根据衍射衬度原 理形成的电子图像称为衍衬像.在实验中 既可以选择特定的像区进行电子衍射(选区电子衍 射) 也可以选择一定的衍射束成像,称为选择衍射成像.选择单光束用于晶体的衍衬像, 选择 多光束用于晶体的晶格像 若物镜光阑套住其后焦面的中心透射斑 形成的电子图像称为明 场像(BF) 若物镜光阑套住其后焦面的某一衍射斑,形成的电子图像称为暗场像(DF) 相位衬度 衍射束和透射束或衍射束和衍射束由于物质的传递引起的波的相位的差别而 形成的衬度 入射电子波照射到极薄试样上后 入射电子受到试样原子散射 分为透射波和散射波两 部分 它们之间相位差为π/2 如果物镜没有像差 且处于正焦状态 透射波与散射波相干 结果产生的合成波振幅相同或相接近 强度差很小 所以不能形成像衬度 如果引入附加的 相位差 使散射波改变π/2 位相 那么 透射波与合成波的振幅就有较大差别从而产生衬 度 这