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低功耗綠能電晶體之陡峭次臨界斜率元件-國家奈米元件實驗室
2
08
Steep Slope FET for Low Power Electronics
Applications
118% 16%
Abstract
Using a ferroelectric gate stack, the range of the steep subthreshold swing of FET eld-
eect transistors was extended and improvement in the swing. The ferroelectric negative
capacitance eect benecial to voltage amplication with transconductnace 118% and
channel conductance 16%. The concept of coupling the ferroelectric polarization is
proposed for low-power applications of steep subthreshold slope devices.
Keywords
Ferroelectric Negative Capacitance Subthreshold Swing
NANO COMMUNICATION 22 No. 1
09
65060 2 700
ALD(
10 ) 7.8
BTBT 120
30 550
[1-3] (100)[4] p
(SOI) p PECVD(
[5] ) 30
[6] 10
[7] RTA
Ag/PZT (10 /30 )
1-3 MOSFET 4-6
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