《电子显微分析_清华精品课程_》.pdf

课程简介1 第一章 电子光学基础3 1.1 分辨率3 1.2 磁透镜的聚焦原理8 1.2.1 电子在均匀磁场中的运动9 1.2.2 短磁透镜 11 1.2.3 磁透镜的设计 16 1.3 电子光学作图成象法 17 1.4 电子透镜的像差 20 1.5 磁透镜的理论分辨率 25 第二章 透射电子显微镜 28 2.1 透射 电子显微镜发展史 28 2.2 透射电子显微镜的基本结构 31 2.3 照明系统 33 2.3.1 电子枪 33 2.3.2 照明系统和偏转系统 39 2.4 成像系统 42 2.4.1 透射电镜的成像原理 43 2.4.2 物镜 44 2.4.3 中间镜和投影镜 47 2.5 像的观察与记录系统 51 2.5.1 荧光屏 51 2.5.2 照相底片 52 2.5.3 成像板 53 2.5.4 视频摄像机 53 2.5.5 慢扫描 CCD 照相机 53 2.6 试样台和试样架 55 2.7 透射电镜的真空系统 58 2.8 透射电镜的电子部分和其他部分 62 2.9 电子显微镜的合轴调整 63 2.9.1 照明系统的合轴与消象 65 Fig. 1-18 85 课程简介 《电子显微分析》侧重电子显微学课程的基础部分，涉及电子光学基础、电子 显微镜结构、透射电子显微学（电子衍射、电子衍衬像）、扫描电子显微学、微分 析，其他电子显微分析技术以及电子显微学的发展。 1 本课程共分9 章： 第 1 章讲叙电子光学的基础知识，重点介绍磁透镜的原理，各种像差的成因以 及它们的校正方法。 第 2 章阐述了透射电子显微镜的结构和工作原理，重点介绍了透射电镜的成像 系统。由于电子显微镜的 硬件”越做越好，操作越来越方便，能否得到好的电镜照 片的关键也越来越依 于电镜试样的制作的好坏，本章花了很大篇幅，详细介绍了 各种电镜样品的制备，以及一些最新的样品制备方法，如聚焦离子束（FIB ）方法。 第 3 章介绍了电子与物质的相互作用。 第 4 ， 5 章介绍简单电子衍射谱和复杂电子衍射谱，这两章是本课程的重点 内容之一。 第 6 章介绍了透射电子显微镜的各种衬度，重点介绍了质厚衬度和衍射衬度 （相位衬度放在第 9 章做简单的定性介绍，详细内容将在本课程的后续课程中学 习）。 第 7 章介绍了扫描电镜的结构与它的各种成像机制，还介绍了目前用的越来越 多的背散射电子衍射 (EBSD) 和可变气压扫描显微镜（LV －SEM/环境扫描显微镜 （ESEM ）。 第 8 章介绍了电子探针显微分析仪和微分析，还仔细介绍了影响微分析区域大 小和准确度的一些主要因素。 第 9 章定性介绍了高分辨电子显微术、会聚束衍射、微衍射、电子能量损失谱、 扫描透射显微术（这些内容会在后续的 电子显微学》里详细讲），还介绍了传统 上不被认为是电子显微镜技术的扫描探针显微镜，因为它们在纳米尺度的观察和研 究上越来越重要， 用的越来越普遍。本章还对在一般的电镜教科书里很少提及的， 较新的电子显微分析技术（如电子全息术，电子三维重构像等）做了简要介绍，特 别地，本章还对目前透射电子显微镜的发展方向之一的球差校正透射电镜做了简要 介绍。