TCAD工具仿真流程培训讲义.pptVIP

* ESD总体评估 这根曲线离坐标原点的距离远近反映了这个ESD防护器件的鲁棒性； */65 浙大微电子 * ESD总体评估 防护器件第一次达到芯片工作电压VDD时刻的电流值（漏电流）反映了该ESD防护器件的直流透明性。 */65 浙大微电子 * */65 浙大微电子 * * * * 从工艺级仿真向器件级仿真的过渡流程 从工艺级仿真向器件级仿真的过渡，主要涉及了三 类文件（除后缀名外，以下文件名均可自取）： 版图层次mask文件nmos.tl1， 工艺描述文件process， 器件仿真程序文件ggNMOSa.txt，ggNMOSb.txt（这两个文件可以合并）。 */65 浙大微电子 * 第*页/共92页 Mask定义 TL1 0100 1e3 0 5600 2 STI 2 0 1000 4600 5600 PWELL 1 0 5600 nmos.tl1 以上语句中，TL1 0100是文件开头标识，被工艺和器件仿真程序所识别；第2行的1e3表示以下所出现的坐标均放大了1000倍，即所有坐标以nm为单位（默认情况下，单位为μm）。 * */65 浙大微电子 * 调用mask文件 工艺仿真需要导入的mask文件以.tl1为后缀名，本例中的mask文件的文件名是nmos.tl1，相应的描述语句是：