集成化可变光学衰减器研析.pdf

摘要 随着对光通信容量需求的快速增长，波分复用系统(WDM)是卖现 光通讯容量扩展的最好方法之一。可变光学衰减器(VOA)是波分复用 系统的关键器件之一。 本文分析了集成化可变光学衰减器的_T-作原理、工艺制作和测试技 术。在分析Y分支和多模干涉器型(MMI)的光学衰减器结构的基础上， 采用脊形波导结构制作了MMI结构的可变光学衰减器，并对硅的刻蚀技 术进行了研究和探讨，最后对制得的器件进行了测试研究。 经过测试，器件的技术指标比较理想：器件能够实现单模传输；插 入损耗比较低；衰减范围比较失；能在较大的温度范围内3-作。 关键词：光通信波分复用 可变光学衰减器单模 多模干涉耦 合器 ABSTRACT the is Asthedemandfor communication making optical capacity isoneofthebest rapidprogress，wavelength·divisionmultiplexing to isone solvethis attenuatorofthe solutions optical problem．Variable in devices systems． key wavelength-division multiplexing introducesthe and This test paper principaltheory、process of variableattenuator．At the technology first，thisanalysises optical paper and multi—modeinterferencestructurevariable Y-junction of optical attenuator．Wehadfabricatedthevariable attenuatorofMMI optical with structure structureandalsostudiedthereactive ridgewave-guide of iron silicon，At testedthe etching last，we variable attenuator optical and some draw conclusions． After cartdrawa