金属%2f电介质复合纳米多层膜的结构和光学性能.pdf

上海交通大学博士论文 摘要及目录 摘要 会属，电介质复合多层膜可以综合利用贵金属的高导电性能以及复合高折 射电介质通过诱导透射设计来实现透明导电红外反射等功能。因此，在低阻 透明导电材料、电磁屏蔽以及热镜等领域有广泛应用。金属一电介质复合光带 隙材料(MD-PBG)由于其低阻和灵活的带隙可控性而受到了广泛关注。本 文在上海市纳米专项基金项目“透紫外隔热纳米多层膜研究”(0452nm067) 的资助下，围绕透紫外隔热纳米多层膜的设计制各和热稳定性改善，对金属／ 电介质复合纳米多层膜的结构、光学性能、热稳定性以及相关的表面、界面 问题进行了研究。 在Kee等人的研究基础上，计算分析了非周期金属一电介质(MD)复合 多层膜耦合共振的裂解现象。运用紧束缚近似(TBA)分析方法，并类比了 电子隧穿三势垒量子阱机制，分析了2．5周期MD结构的耦合结果，并证明 了2倍金属趋肤深度并不是Kee提及的限制腔搭接耦合的临界厚度。提出以 单一F．P腔作为分析基元，计算证明共用金属层厚度为两倍基元金属层厚度 时，共振透射峰趋于合并，这一点与电子隧穿势垒的结论非常相似。在此基 础上，进一步分析了(2n+1)个腔基元耦合共振透射峰的理解规律。 分析了常用光学镀膜材料，并就Ag膜趋肤深度以及常用于金属材料光学 性能的描述的Drude模型在紫外波段的效性进行了分析论证。指出KOstlin关 于传统热镜设计膜厚优化计算模型在紫外波段不再适用，而由于束缚电子在 紫外波段对自由电子振动的贡献使得金属等离子共振频率降低。因此，紫外 波段要考虑束缚电子的Lorentz振子模型。选用非晶Ti02和Ag作为电介质 和核心金属层材料，利用矩阵计算设计优选了膜层厚度，设计制备了几组可 以实现透紫外隔热的纳米多层膜。取得了较好的紫外透射和红外反射的综合 性能，在商用紫外固化特征波长五=365nm波段获得了高达8l％的透射率， 而同时在1600nm的近红外波段就可以实现近90％的反射。指出在采用多周 期不同金属厚度的MD结构时，即使总的金属层厚度相同，子金属层的位置 变化会影响系统的透射性能，因此，MD结构不能像全介质结构只考虑总体 的光学厚度(nd)。 合很差。Ag薄膜热力学稳定状态为三维岛状结构，在外界能量的作用下会发 生结块而破坏其连续性进而影响到整个膜堆的光学性能。通过TEM和AFM 分析了不同厚度Ag膜在Ti02膜表面的生长和热处理结块现象，结合二者的 上海交道大学博士论文 摘要及目录 结构的热稳定性，本文提出采用前期过渡元素n作为Ti02／Ag界面的过渡层。 由于Ⅱ的3d层只有2个电子，而且与氧的亲和力比Ag高t0倍，而Ti经 Ag与Ti02的中间层。试验结果表明，超薄Ti层有效地改善了Ag膜的连续 性和热稳定性。XRD研究表明前在沉积态与Ti02反应生成低价氧化物Ti203， 因此，对原始膜堆的光学性能影响较小，但是由于啊2岛可以表现一定的金 属性与Ag的界面结合得到明显的强化。特别是，经过退火处理后，n促进 了Ag(111)取向的有利发展，有效地降低了Ag的表面能。 通过扫描电镜(sEM)，俄歇深度分析(AEs)以及变角椭圆偏振仪 界面沉积态和退火态都没有界面反应物，但是退火后Ag会扩散通过Ti02层。 步提供了有力证据． 通过设计制备以及热稳定性的改善等措施，为透紫外隔热纳米多层膜在 ‘ 紫外固化隔热方面的应用提供了一些有价值的研究基础。 n 上海交通大学博士论文 摘要及目录 Abstraet Metal-dielectric sound ofnoble compositemultilayers’combineconductivity index intermsofinduce