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摘要 Y
随着光网络和光通讯的发展，以及光交换概念的提出．光开关及开关列阵
起着越来越重要的地位，同时对光开关性能要求也越来越高。
LiNb03已经被广泛的研究了三十年，由于它具有高的电光系数和声光系数
工艺简单，材料环境稳定等优点，LiNb03材料集成光子器件已经应用到实际光
网络中，已经成为远距离高速网络系统(10GHz以上)的外调制器优先选用的
材料。
本文从Ti扩散特性和波导导模截止条件入手，计算并确定了制作单模
4C
扩散时间9～10h等。
设计并制作了2×2耦合型光开关和1×2数字开关，其中耦合型开关主要采
用的反转△B定向耦合器开关，开关长度约30mm，波导宽度8p．m，波导间距(中
关电压一15，消光比z18dB；数字开关采用非对称电极Y分叉数子开关结构，利
用BPM软件模拟了其开关特性并优化了器件参数．制作中采用的主要参数为
歼关长度约25ram，Y分叉角0=0．1
9，Y分叉末端波导间距(中心)30pm，电
撖间距12p．zn，晟终测得开关电压27V，消光比=18dB。
寐§尊苦、*帅同黧
勃金文公布
浙江大掌硕士论文
ABSTRACT
With of networkand the
developmentoptical opticalcommunication，and
introductionof of switch
and switchis
conceptionoptical array
swap，optical optical
an role．
playingimportant
Lithium been
studiedanddocumented forover
niobate(LiNb03)has extensively
threedecadesbecauseofitsgood coefficientand
electro-optic acousto—optic
of
ease itsenvironmentalis
coefficient，its
processing，and stability．Itreadily
available andisthe
materialofchoiceforexternal
commercially modulatorsin
to1OGHz．
long-distance up
high—bit-ratesystems
Inthis
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