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日常维护 ? MLIO激光干涉仪使用中日常维护也同样重要， ? 要注意以下几点： ? (1)避免现场与仪器箱内温差较大时，直接开箱使用； ? (2)运输、使用中避免剧烈碰撞； ? (3)仪器线缆要防止碾、压，线缆接口防止变形； ? (4)多尘的环境中，要注意光学镜组放尘，测量间隙较长时， 注意将激光光闸关闭，防止灰尘进入激光器； ? (5)清洗光学镜组要使用高质量的擦拭纸、清洗液。 项目六数控机床位置精度检测与补偿 　· 某一位置的单向平均位置偏差 ↑或 ( ↓)： 运动部件n次单向趋近某一位置Pi所得的位置偏差的算术平均值， 即 　　 ↑ = ↑,? ?????? ↓= ↓ 项目六数控机床位置精度检测与补偿 某一位置的双向平均位置偏差：运动部件从两个方向趋近某一位置Pi所得的单向平均位置偏差? ↑和 ↓的算术平均值, 即 　　 = （ ↑+ ↓）/2　　 项目六数控机床位置精度检测与补偿 某一位置的反向差值Bi：运动部件从两个方向趋近某一位置时两单向平均位置偏差之差值， 即 　Bi= ↑- ↓ 项目六数控机床位置精度检测与补偿 很多生产厂家的现场条件属非标准环境，达不到上述标准环境条件要求，其操作人员的熟练程度和应对条件变化的处置能力也有差距，其检测结果的准确性就值得怀疑了。有些使用者用同一台激光干涉仪检测同一台数控机床，上午检测和下午检测的结果竟相差10μm以上，不知该如何处理。 项目六数控机床位置精度检测与补偿 有些计量部门曾用激光干涉仪对测长机、三坐标测量机和数控机床的坐标精度进行检定/校准时，也发现其测量结果与采用实物标准器（如二等标准线纹尺、二等量块、精密步距规等）进行校准时的测量结果有很大差别，数值相差甚至大到10～20μm/1000mm。原因可能是多方面的，既有环境影响因素，如温度变化梯度较大，也有人的操作方式不当等影响因素，甚至还可能有仪器本身的温度传感器不够稳定或帖附位置不恰当等因素影响。所以在激光干涉仪使用中，有必要先用步距规进行校对。校对方法很简单：把步距规当做被检测对象，用激光干涉进行检测，如果测量结果与步距规实际值一致，说明激光干涉仪在本环境条件和使用方式下可准确使用。如果测量结果与步距规实际值相差较大，需对激光干涉仪进行误差修正，然后再用修正过的激光干涉仪再次测量步距规，直至测量结果与步距规实际值一致或误差小到可以忽略。 项目六数控机床位置精度检测与补偿 三坐标测量机 激光干涉仪使用方法  激光干涉仪简介  检测螺距误差必 要性  工作原理  使用技巧  实际应用  日常维护与保养 激光干涉仪 XL80基本组成： XL80 激光器 三脚架 XC-80 环境补偿装置线性测量 镜组 检测螺距误差必要性 ? 开环和半闭环数控机床的定位精度主要 取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一 定螺距误差，因此在加工过程中会造成零 件的外形轮廓偏差。由上面的原因可以得 知：螺距误差是指由螺距累积误差引起的 常值系统性定位误差。检测螺距误差是为 了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏 差，即提高机床的精度。 工作原理 ? MLl0激光干涉仪是根据光学千涉基本原理设计而成。从 MLl0激光器射出的激光束有单一频率，其标称波长隽 0．633pLIn，且其长期波长稳定健(真空状态)要高于 0．1ppm。当此光束抵达偏振分光镜时，会被分为两道 光束一一道反射光束一道透射光。这两道光射向其反光镜， 然后透过分光镜反射圈去，在激光头内的探测器形成一道 干涉光束。若光程差没有任何变化，探测器会相长性和相 消性干涉的两极找到稳定的信号。若光程差确实有变化， 探测器会在每一次光程改变时，在相长性和相消性干涉的 极找到变动的信号。这些变化会被计算并用来测量两个光 程闻的差异变化。测量的光程就是栅格数乘以光束大约一 半的波长。 实 际 应 用 ? 目前为止，激光干涉仪在我们机床装配 现场最常见的检测就是对数控机床的定位 精度、重复定位精度、反向精度的检测。 对于附带有C轴带有铣削功能的机床还要进 行回转工作台的定位精度、重复定位精度、 反向精度的检测。另外，激光干涉仪在现 场也进行过床身、导轨等相对较长的大型 零件的直线度的检测。 应用具体讲解 ? 下面具体讲解一下，如何用激光干涉仪 对数控机床进行精度检测。先以数控立式 车床GTC16090（系统为西门子802D）的 机床为例： ? 1.首先检查机床是否设有软限位。在机床数 据内查找36110，并且设置好机床的最大行 程。 ? 2.看刀补OFFSET内