LDJ多弧磁控真空离子镀膜机说明书.pdfVIP

深圳市振恒昌实业有限公司 LDJ-1600 LDJ-1600 LLDDJJ-子镀膜机使用说明书 人机操作手册 制造商: 深圳市振恒昌实业有限公司 地址: 深圳市龙岗区同乐丁甲岭工业区9号 电话:86-755-840500288405602984293890 传真:86-755 Http:// 镀膜机.中国 1 深圳市振恒昌实业有限公司 目录 1 人机界面各画面介绍 1.0 开机界面3 1.1 监控界面4 1.2 参数设置界面9 1.3 工艺设置界面11 1.4 系统状态界面15 1.5 修正选择界面17 1.6 维修测试界面18 1.7 设备信息界面19 1.8 权限管理界面20 2 开机前检查事项23 3 抽气流程操作26 4 电气材料清单27 5 电气原理图29 制造商: 深圳市振恒昌实业有限公司 地址: 深圳市龙岗区同乐丁甲岭工业区9号 电话:86-755-840500288405602984293890 传真:86-755 Http:// 镀膜机.中国 2 深圳市振恒昌实业有限公司 1. 1. 11.. 人机操作 1.1人机界面各画面名称 ·Screen0 (1)上电初始画面.需要登陆才能进入系统监控和操作. (2)点击登陆按钮,系统会弹出用户选择和密码输入框,输入正确的密码后,当前登陆用 户会显示你刚才选择的用户.画面上部给出初始系统的用户和密码.用户可以更改 其密码,和设置更多的普通用户. (3)点击进入按键,进入系统监控界面. 3 深圳市振恒昌实业有限公司 ·Screen1 (1) 氮气Ar 在手动状态时，是启动手动加气控制. (2) 乙炔C2H2 在手动状态时，是启动手动加气控制. (3) 氧气O2 在手动状态时，是启动手动加气控制. (4) 氩气N2 在手动状态时，是启动手动加气控制. (5) 氮气 左边显示框是手动设置氮气最终流量,中间显示框是实际检测氮气流量， 右边显示框是每次加气的时间，设置为0 时，则是加气量立刻达到最终 设置流量. (6) 乙炔 左边显示框是手动设置乙炔最终流量,中间显示框是实际检测乙炔流量， 4 深圳市振恒昌实业有限公司 右边显示框是每次加气的时间，设置为0 时，则是加气量立刻达到最终 设置流量. (7) 氧气 左边显示框是手动设置氧气最终流量,中间显示框是实际检测氧气流量， 右边显示框是每次加气的时间，设置为0 时，则是加气量立刻达到最终 设置流量. (8) 氩气 左边显示框是手动设置氩气最终流量,中间显示框是实际检测氩气流量， 右边显示框是每次加气的时间，设置为0 时，则是加气量立刻达到最终 设置流量. (9) 总气体充气阀 总气阀开关,点击可以打开和关闭. (10) 本炉运行时间 是从关闭大门开始计算,以秒为单位.大门打开后,计时结束. (11) 步骤运行时间 是指操作当前工序到下一工序的时间计算,以秒为单位.每动作 一个步骤,系统都会把时间清零,然后重新计时. (12) 电阻计显示框 实时检测真空计的低真空数值. (13) 电离计显示框 实时检测真空计的高真空数值,如果电离计未开启,则此数值 不能作为使用或参考数值. (14) 电离计开 手动打开电离计按钮,