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2016-01-29 发布于山西
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制作平面全息光栅的离轴抛物镜_洛埃镜干涉系统

19 1 Vol. 19 No. 1 2011 1 Optics and Precision Engineering Jan. 2011 1004924X( 2011) / 1 1, 2 1, 2 1 1 巴音贺希格 , 邵先秀 , 崔继承 , 李文昊 , 齐向东 ( 1. 中国科学院长春光学精密机械与物研究所, 吉林长春 1 00 ; 2. 中国科学院研究生院, 北京1000 9) : / / / / 4 , , ; 4 Zernike , 4 , / , 110 mm 110 mm, 1 200 l/ mm / , / 8(= 6 2. 8 nm) , 0. 2 9 6(= 550 nm) , / 6~ / 7(= 550 nm) : 平面全息光栅; 离轴抛物镜; 洛埃镜; 干涉系统 :TH 744. ; O4 8. 1 :A doi: 10. 788/ OPE. 0056 Offaxis parabolic/ Lloyd mirror interferometric systems for manufacturing plane holographic gratings 1 1, 2 1, 2 1 1 Bayanheshig , SH AO Xianxiu , CUI Jicheng , LI Wenhao , Q I Xiangdong ( 1. Changchun I nstitute of Op tics , Fine Mechanics and P hy sics , Chinese A cademy of Sciences, Chang chun 1 00 , China; 2. Gr aduate Uni ersity of Chinese A cad emy of Sciences , Beij ing 1000 9, China) Abstract: T he design and manufacturing of interferometric exposure systems with high w avefront flatness and structural stability is a paramount condition for development of highquality holographic diffraction gratings. A raytracing w as carried out on straightness of the interference fringes arisen from four kinds of interferometric exposure systems of Single Reflective M irrors ( SLR) , namely, off axis parabolic/ Lloyd mirror system, single lens/ Lloyd mirror system, spherical mirror/ Lloyd mirror system and the separation of pairs of lens/ Lloyd mirror system . A standard grating w as placed in the interferometric field to make tw o parallel light beams for exposure incident on the grating, so that the diffractive light w as superpositioned to appear Moire fringes. T hen, the Moire fringes metioned above :