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第7 章 光学光刻 第7 章 光学光刻 7.1 光刻概述 7.1 光刻概述 光源 曝光 光刻 曝光方式 刻蚀 评价光刻工艺可用三项主要的标准：分辨率、对准精度和 分辨率、对准精度 生产效率。 生产效率 光刻工艺流程 光刻工艺流程 涂光刻胶（正） 选择曝光 选择曝光 显影（第1 次图形转移） 刻蚀（第2 次图形转移）