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电子显微分析 四川大学分析测试中心 电镜的应用 微观形貌和结构 成分分析 电子光学 光的折射和光学透镜成像 （1）光的折射 （2）凸透镜的成像原理 （3）光学显微镜的原理 光的衍射和光学显微镜分辨本领理论极限 （1）光的衍射 结论： 埃利斑半径与照明光源波长成正。 （2）光学显微镜分辨本领理论极限 分辨率的定义——设某成像装置所能区分开两点（或两条线）之间的最小距离为δ，则这一成像装置的最佳分辨率d 即为δ。 分辨率d 是衡量成像仪器的重要指标，也是各种因素的综合参数指征。 人眼睛的分辨率一般不高于0.2 mm ( d ≈0.2mm ) 。 理论极限：照明光源的半波长。 （3）放大倍率M 与分辨率d 的关系 放大倍率M = 像长/ 物长 但必须保证在一定成像质量的前提下才有意义 有效放大倍率M= d（人眼）/ d（仪器）即，相对于人眼睛的分辨率，仪器所能提高分辨率的倍率 ??光镜M= d（人眼）/ d（光镜）= 0.2 mm / 0.2 μm= 1000 × ??电镜M= d（人眼）/ d（电镜）= 0.2 mm / 0.2 nm = 100万× 结论： 突破光学显微镜分辨本领和有效放大倍数的极限，必须寻找一种即要波长短，又能使之聚焦成像的新型照明源。 电子的波动性及其波长 电磁透镜的特点 结构复杂，要求几何尺寸与加工精度极高