酞菁钯-聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测.pdfVIP

维普资讯 第 29卷 第 5期 半 导 体 学 报 VO1．29 NO．5 2008年 5月 JOURNALOFSEM ICONDUCTORS Mav。2008 酞菁钯一聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测* 施云芬 施云波 孙墨杰 冯侨华 (1东北电力大学化学工程学院，吉林 132012) (2哈尔滨理工大学测量技术与通信工程学院，哈尔滨 150080) 摘要：针对含磷毒气快速检测问题，以自制的杂化酞菁钯-聚苯胺为敏感膜材料，设计了一种双信道声表面波 (SAW)传感 器．阐述了传感器的基本原理，推导出以有机膜作为信道中间介质时，差频输出△，由物理化学吸附两种机制叠加的数学模 型．依据声波振荡条件，设计了146±5MHz振荡频率的信号采集 电路；以钽酸锂晶体为压电基片，通过 MEM