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微波器件与电路2.pdf
微波器件与电路
第二讲 微波半导体器件
内容
微波半导体材料
微波器件分类
微波半导体原理
1. 微波半导体材料
微波半导体器件是微波电子系统中的主要非线性
器件,包括微波二极管、微波三极管和单片微波
集成电路(MMIC )。
微波半导体器件是普通半导体器件向更高频率的
发展产物,仍然会用到半导体物理知识,所不同
的是要考虑器件尺寸和材料带来的分布参数。
现代微波电路设计需要使用CAD技术,常用的软
件有ADS 、Ansoft Designer等。通常厂家会给出
一些成熟产品的器件等效电路模型便于电路仿
真。
1. 微波半导体材料
微波半导体常用的材料有硅Si、锗Ge、硅锗
SiGe、砷化镓GaAs 、磷化铟InP 、金属氧化物半
导体MOS 、三元或四元Ⅲ- Ⅴ族化合物(如镓
GaInAs 、GaInAsP 、AlGaAs) 。表2-1给出了常见
半导体材料的特性参数。
1. 微波半导体材料
表2-1 常见半导体材料的特性参数(T=25℃,N=10 cm-3)
GaAs材料比Si、Ge材料具有更高的电子迁移率和饱和迁移
速度,并能得到较高电阻率的衬底,更适合于制作微波频
段的MESFET和MMIC器件
1. 微波半导体材料
表2-1 常见半导体材料的特性参数(T=25℃,N=10 cm-3)
Si材料具有较高的热导率,适用于高功率场合
1. 微波半导体材料
近年来,SiC、GaN 等宽禁带材料在微波功率器
件方面有了长足的发展,进入实用阶段。
采用不同的工艺对本征半导体材料进行不同的掺
杂形成N型和P型半导体,就可以制成各种电子器
件。由于电子的迁移率远大于空穴的迁移率,因
而在射频与微波频段内大量采用N型半导体和金
属-N型半导体结,即肖特基(Schottky)接触,实现
各类微波器件。
2. 微波器件分类
器件包括微波二极管和微波三极管。
二极管包括PN结二极管、肖特基二极管、PIN
二极管、变容二极管、阶跃恢复二极管、雪崩
二极管和体效应二极管。
2. 微波器件分类
名称 原理 特点 用途
肖特基势垒 利用金属与半导体接触 微波混频器、检波器和微
非线性电阻特性
二极管 形成肖特基势垒构成 波开关
利用PN结的结电容(主 参量放大器、参量变频
要是势垒电容)随着外加 作为非线性可变 器、参量倍频器(谐波发
变容二极管
电压的改变而改变的特 电抗器件 生器)、可变衰减或调制
性 器
阶跃恢复 可看做一种特殊的变容 梳状频谱发生器或高次倍
有丰富的谐波
二极管 管 频器
体积小、质量
轻、控制快、损 微波开关、限幅器、可变
PIN二极管 P+IN+结构
耗小、控制功率 衰减器、移相器等电路
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