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微波器件与电路 第二讲 微波半导体器件 内容  微波半导体材料  微波器件分类  微波半导体原理 1. 微波半导体材料  微波半导体器件是微波电子系统中的主要非线性 器件，包括微波二极管、微波三极管和单片微波 集成电路（MMIC ）。  微波半导体器件是普通半导体器件向更高频率的 发展产物，仍然会用到半导体物理知识，所不同 的是要考虑器件尺寸和材料带来的分布参数。  现代微波电路设计需要使用CAD技术，常用的软 件有ADS 、Ansoft Designer等。通常厂家会给出 一些成熟产品的器件等效电路模型便于电路仿 真。 1. 微波半导体材料  微波半导体常用的材料有硅Si、锗Ge、硅锗 SiGe、砷化镓GaAs 、磷化铟InP 、金属氧化物半 导体MOS 、三元或四元Ⅲ- Ⅴ族化合物(如镓 GaInAs 、GaInAsP 、AlGaAs) 。表2-1给出了常见 半导体材料的特性参数。 1. 微波半导体材料 表2-1 常见半导体材料的特性参数(T=25℃，N=10 cm－3) GaAs材料比Si、Ge材料具有更高的电子迁移率和饱和迁移 速度，并能得到较高电阻率的衬底，更适合于制作微波频 段的MESFET和MMIC器件 1. 微波半导体材料 表2-1 常见半导体材料的特性参数(T=25℃，N=10 cm－3) Si材料具有较高的热导率，适用于高功率场合 1. 微波半导体材料  近年来，SiC、GaN 等宽禁带材料在微波功率器 件方面有了长足的发展，进入实用阶段。  采用不同的工艺对本征半导体材料进行不同的掺 杂形成N型和P型半导体，就可以制成各种电子器 件。由于电子的迁移率远大于空穴的迁移率，因 而在射频与微波频段内大量采用N型半导体和金 属-N型半导体结，即肖特基(Schottky)接触，实现 各类微波器件。 2. 微波器件分类  器件包括微波二极管和微波三极管。  二极管包括PN结二极管、肖特基二极管、PIN 二极管、变容二极管、阶跃恢复二极管、雪崩 二极管和体效应二极管。 2. 微波器件分类 名称 原理 特点 用途 肖特基势垒 利用金属与半导体接触 微波混频器、检波器和微 非线性电阻特性 二极管 形成肖特基势垒构成 波开关 利用PN结的结电容(主 参量放大器、参量变频 要是势垒电容)随着外加 作为非线性可变 器、参量倍频器(谐波发 变容二极管 电压的改变而改变的特 电抗器件 生器)、可变衰减或调制 性 器 阶跃恢复 可看做一种特殊的变容 梳状频谱发生器或高次倍 有丰富的谐波 二极管 管 频器 体积小、质量 轻、控制快、损 微波开关、限幅器、可变 PIN二极管 P+IN+结构 耗小、控制功率 衰减器、移相器等电路