原子力显微镜自动控制算法的研究.pdfVIP

摘要 摘要 原子力显微镜(AFM)是一种广泛应用在纳米科技领域的表征与操作仪器。其 发明及技术的革新在推动化学、材料、生物等纳米相关学科发展方面起了非常 重要的作用。然而，AFM成像模式带来的缺陷，如成像速度低，对样品损伤大， 操作不灵活等，却阻碍了其进一步的应用与发展。因此，近年来，研究人员在 提升和扩展AFM的功能方面做出了大量的努力和尝试。而在涉及物理、机械、 自动控制等多个学科的研究中，AFM的控制系统又因存在诸多复杂问题而给控 制算法的设计带来新的挑战。简言之，这些问题主要包括：压电扫描器的迟滞 非线性影响定位精度；压电扫描器较低的振动模态以及逐行扫描的成像模式限 制了扫描成像的速度；系统模型参数未知导致控制器参数调节繁琐等。针对这 些问题，本文对AFM的控制算法展开研究，旨在通过设计先进控制器进一步提 升AFM的成像性能。具体而言，本文的主要工作包括以下四个方面： 首先，提出了两种基于图像的迟滞建模与控制算法。迟滞非线性存在于包括 压电扫描器在内的多种机电系统中，因其输入输出之间存在极其复杂的多重映 射关系，所以对迟滞的建模与控制一直是自动控制领域研究的热点。在本项研 究中，借助AFM图像，并利用已知准确数据的标准样品，完成了对Preisach与 变比两种迟滞模型的参数辨识。在此基础上，设计了一种基于逆的迟滞前馈补 偿算法，将补偿方法用于实验室自行搭建的AFM开放式平台上并对多种样品进 行测试，结果表明该算法对迟滞引起的图像畸变有明显的抑制作用。此外，和 传统方法相比，该方法避免了纳米级位移传感器的使用，且针对AFM的特点， 降低了算法的复杂度，更利于在AFM实际系统中的应用。 ． 第二，设计了一种基于学习策略的压电扫描器迟滞与振动控制方法。传统的 AFM通常工作在较低的扫描频率下，因此，相对于迟滞效应，压电扫描器的振 动模态并未对AFM图像质量产生明显的影响。但当前的科学研究迫切需要提高 AFM扫描成像的速度。在这种情况下，压电扫描器的动态特性将被激发，并且 与其迟滞非线性耦合在一起，从而增加了控制器设计的难度。本文考虑到AFM 逐行扫描的特点，设计了双环学习控制策略对系统中的动态不确定性和迟滞非 线性环节分别学习，并利用滑模和自适应控制器处理以上部分的学习误差。通 过李雅普诺夫方法对所设计的控制器进行了严格的稳定性分析。仿真结果表明， 摘要 该算法能明显增加控制系统的带宽，提升跟踪周期性轨迹的性能，从而抑制高 频输入下压电扫描器振动模态的影响。 第三，提出了一种用于轻敲式AFM的输出反馈鲁棒自适应控制算法。在实 际AFM运行时，由于更换样品、扫描器或探针均会改变系统模型的参数，因而 需要重新调整控制器的增益，而这对测试人员来说是非常繁琐的工作。为此， 本文首先详细分析了轻敲式AFM的工作过程，提出了一种简化的系统模型，在 该模型的基础上，设计了K-滤波器以用于输出反馈控制。进而，针对系统中的 未知参数和样品扰动，分别设计了自适应环节和鲁棒控制器加以处理。此外， 由于AFM探针检测系统的测量范围有限，有可能发生输出饱和问题，因此，本 文还对算法在输出饱和情况下的性能进行了详细分析，计算得出饱和问题的吸 引域，算法的稳定性通过李雅普诺夫方法进行了证明。 第四，针对AFM逐行扫描的特点，提出了用于慢变期望轨迹的迭代学习控 制算法。在AFM成像过程中，由于控制系统需要在每个扫描点达到稳定状态以 保证较好的图像质量，这一方面将增加调节时间，另一方面还会加剧对探针和 样品的损伤。为减弱这两方面的影响，本文将学习控制算法用于AFM成像控制 系统中。但输出饱和问题的存在以及在迭代域内期望轨迹逐渐变化，使得分析 学习控制器的收敛性更加困难。因此，本文针对这两个方面分别展开研究，首 先针对一类线性系统在输出饱和情况下，提出了比例型学习控制律收敛的充分 条件：其次，设计了一种前馈与反馈相结合的迭代学习控制器，用于迭代域内 渐变期望轨迹的跟踪。将所设计的算法用于AFM系统，结果表明该控制器在增 加控制系统带宽和降低扫描过程中样品．探针之间作用力方面起到了明显的控制 效果。 关键词：原子力显微镜；迟滞；学习控制；李雅普诺夫方法；输出饱和 Ⅱ