振动传感器设计.docVIP

振动传感器的设计研究 王翔 19920111152779 （物理与机电工程学院） 摘要：本文目的是设计一款要求参数的振动传感器，其主要是利用差分电容的原理进行设计。根据差分电容的特点建立其力学和电路特性然后应用三明治结构实现设计。在对三明治结构进行了ansys仿真确定了其振动的模态从而调节参数时敏感器件符合要求，使用matlab对其输出的位移和电压进行了仿真模拟得到相应的结论。 关键字：振动传感器、三明治结构、仿真 1引言 众所周知，振动是广泛存在于自然界和人类社会生活中的一种物理现象，直观地形容，振动是一种动态现象，是我们观察到的某一平衡位置上的往复运动。振动是一种或多种力的作用导致结构中的能量的传递和储存引起的。有些振动是我们需要的，在工农业生产、社会生活、医疗保健等方面均有广泛的应用。比如在建筑工地，用机器将水泥沙浆捣实，利用超声振动进行清洗、焊接等。有些振动又是需要避免的，比如环境噪声、桥梁谐振等。通过振动测量可以提供振动加速度、速度和位移，为工业生产提供依据，保证仪器设备的安全、可靠，还可以为仪器工作过程中提供各振动参数数据，使控制系统根据测试数据对仪器的工作状态进行控制，保证正确的工作状态，以便提高工作效率。 本文通过差动电容的原理设计了一种振动传感器，测量振动中的加速度。主要技术指标为： 检测限为 0.1 mg, 频率范围100-10,000Hz 2 电容式振动传感器