大口径非球面面形三坐标拼接测试方法研究.pdfVIP

计量： 利用 三坐标测量仪拼接检测大 口径 非球 面面形 王孝坤 ( 中国科学院长春光学精密机械 与物理研究 所 中国科学院光学系统先进制造技术 重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要 ： 为 了利用三 坐标测量仪 实现对 大 口径非球 面面形的检 测，提出 了大口径非球 面面形三 坐标 拼 接 测试 方 法 。对该 方 法的基 本原理与具 体的实 现 流程进行了分 析和研究 ，并基于初 级像差理 论 和最 小二 乘拟合 建 立 了三 坐标拼 接检 验大 口径 非球 面综合 优 化数学模型。 结合 实例 ，对一 口径 为 1 200 mm×434 mm 的长条形 SiC 离轴非球 面反射镜进行了 两个子孔径 的三 坐标拼接检 测，并将拼接 测试结果与非球 面全 口径轮廓检 测结果进行了 比对 ，其 PV 值和 RMS 值 的偏差分别仅 为 0.073 μm 和 0.042 μm ；两种方 法面形残差的 PV 值和 RMS 值 分别为 0.325 μm 和 0.055 μm 。 关 键词 ： 面形检 测 ； 大 口径非球 面； 三 坐标测量仪； 子孔径拼接 测试 中 图分类号 ： O439 ；O436 .1 文 献标志码 ： A 文 章编号 ： 1007-2276(2014)10-3410-06 Measurement of large aspheric surface by stitching and coordinate measuring machine Wang Xiaokun (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) Abstract: For the purpose to test large aspheric surface by Coordinate Measuring Machine (CMM), the new method combined three coordinate measuring and subaperture stitching testing was proposed. The basic principle and flow chart of the method were analyzed, the synthetical optimization stitching mode and effective stitching algorithm were established based on primary aberration and least -squares fitting. A large off-axial SiC aspheric surface with the aperture of 1 200 mm ×434 mm was tested by this method with 2 subapertures. For the validation, the whole asphere was also measured by profilometry. The PV and RMS between the two methods is 0.073 μm and 0.042 μm, respectively; the PV and RMS of residual error is 0.325 μm and 0.055 μm, respectively. Key words: