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光电测试技术  哈尔滨工业大学 引 言 光波在传播过程中遇到障碍物时，会偏离原来的传播方向，绕过障碍物的边缘而进入几何阴影区，并在障碍物后的观察屏上呈现光强的不均匀分布，这种现象称为光的衍射。使光波发生衍射的障碍物或者其它能使入射光波的振幅或位相分布发生某种变化的光屏称为衍射屏。 激光出现后，由于它具有高亮度、相干性好等优点，使光的衍射现象在测试技术中得到了实质性应用。 激光衍射测试技术是一种高准确度、小量程的精密测量技术，应用比较广泛。 通常把衍射现象分为二类： 1）菲涅耳衍射，光源和观察屏（或二者之一）离开衍射屏距离有限，又称为近场衍射； 2）夫琅和费衍射，光源和观察屏距离衍射屏都相当于无限远，因而又称为远场衍射。 §5-1 激光衍射测试技术基础 §5-1 激光衍射测试技术基础 5.1.1 单缝衍射 夫琅和费衍射的计算比较简单，特别是对于简单形状孔径的衍射，通常能够以解析形式求出积分，并且夫琅和费衍射是光学仪器中最常见的衍射现象。激光衍射测量的基本原理是利用激光的夫琅和费衍射。 ①夫琅和费衍射实验装置 §5-1 激光衍射测试技术基础 5.1.1 单缝衍射 ②单缝夫琅和费衍射强度分布 用振幅矢量法或衍射积分法都可以得到缝宽为b的单缝夫琅和费衍射光强分布表达式： 其中 其分布如图示。 §5-1 激光衍射测试技术基础 5.1.1 单缝衍射 ③单缝测量的基本公式 易