多晶硅生产技术发展方向探讨.pdfVIP

化 工 进 展 ·2928 · CHEMICALINDUSTRYAND ENGINEERING PROGRESS 2014年第 33卷第 11期 多晶硅生产技术发展方向探讨 王东京，赵建，詹水华，盛斌 (江苏双 良新能源装备有限公司，江苏 江阴 214444) 摘要：还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法，可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅 ，对 解决 目前 国内多晶硅所面 临的生产成本高、产品质量低下等问题具有非常重要的意义。本文总结了改良西门子 法、硅烷流化床法和气液沉积法生产多晶硅的工艺技术，分析 了各 自的优缺点和发展方向。指出了目前的改良 西门子法核心设备的改进方向和应用还原高频电源技术、硅烷流化床技术需在加热方式上做进一步开发研究， 气液沉积法可与现有的多种工艺技术相结合形成多种工艺路线，其中二氧化硅经碳热氯化法制备四氯化硅后， 与氢气还原四氯化硅法相结合制备多晶硅，是值得研究开发的一种新工艺路线。该工艺路线不仅工艺流程大大 缩减，而且四氯化硅的提纯比其他氯硅烷更容易，生产的多晶硅产品质量更高、成本更低。 关键词：多晶硅；改良西门子法；高频电源技术；硅烷法；气液沉积法 中图分类号：TB332 文献标志码：A 文章编号：1000—6613(2014)11—2928—08 DoI：10．3969~．issn．1000—6613．2014．11．018 Discussionondevelopmentdirectionofpolysiliconproductiontechnology WANGDongfing，ZHA0Jian，ZHANShuihua，SHENGBin (JiangsuShuangliangNew EnergyEquipmentCo．，Ltd．，Jiangyin214444，Jiangsu，China) Abstract： High—rfequency power conversion， silane fluidized bed process and vapor-to—liquid depositioncanbecombinedwithmodifiedSiemensprocesstoreduceproductioncostand improve qualityofpolysilicon．ThispapersummarizesmodifiedSiemensprocess，silanefluidizedbedprocess and vapor-to—liquiddeposition，and analyzestheiradvantagesand disadvantagesaswellastheir developmentdirections．The presentmodified Siemensprocessneeds improvementof itscore equipmentandtheapplicationofhigh—rfequencypowerconversion，thesilanefluidizedbedprocess needstofurtherresearchanddevelop theexistingfluidizedbedheatingmode，thevapor-to—liquid depositionprocesscanbecombinedwithexistingtechnologiestoform avarietyofprocessroutes，and thecombinationofthesilicacarbochlorinationprocesstopreparesilicontetrachlorideandhydrogen reductionofsilicon tetrachlorideofrpreparingpolysiliconcangreatly shortenprocessroute，make purificationofsilico